电子部件的高频特性误差修正方法技术

电子部件的高频特性误差修正方法，能够在成为修正对象的测量系统保持和实测时相同的状态下，对于２端子阻抗部件进行校正作业。用基准测量系统和实测测量系统测量高频特性不同的至少３个修正数据取得用试料，决定使用传输线路的误差修正系数将用实测测量系统测量的测量值和用基准测量系统测量的测量值联系起来的公式。用基准测量系统测量任意的电子部件，使用决定的公式，计算出如果用基准测量系统测量该电子部件将会获得的该电子部件的高频特性的推定值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，更详细地说，涉及在2端子阻抗部件的高频特性的测量中，修正测量系统的误差的方法。
技术介绍
在现有技术的电子部件的批量生产工序中，使用自动特性分选机，测 量电子部件的电气特性。自动特性分选机中的测量系统，由于成为基准的 测量系统和电路特性不同，所以修正利用自动特性分选机获得的测量值， 推定成为基准的测量系统的测量值后，能够提高产品的合格率。作为进行 这种修正的方法，被称作"S0LT、 TRL校正及RRRR/TRRR校正"的技术， 已经广为人知。首先，讲述TRL / S0LT校正。 作为旨在测量被检查件一一表面安装部件的散布系数行列的真值而 能够使用的现有技术，TRL校正是最有效的技术。另外，作为广泛使用的 现有技术，还有S0LT校正。对于它们进行简单的讲述。为了获得被检査件的真值，必须鉴别测量系统的误差因素，从测量结 果中去掉误差因素的影响。图1表示在代表性的误差除去方法(校正方法) 中使用的误差模型(errormodels)。就是说，如图1 (a)所示，被检查件——电子部件2与在测量工具 10的上面形成的传输线路连接。在测量工具10的传输线路的两端设置的连接器lla本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件的高频特性误差修正方法，该方法根据用实测测量系统对２端子阻抗部件的电子部件进行测量的结果，计算出如果用基准测量系统测量该电子部件将会获得的该电子部件的高频特性的推定值，　该方法具备：　准备用所述基准测量系统标称的、高 频特性不同的至少３个第１修正数据取得用试料的第１步骤；　用所述实测测量系统测量至少３个所述第１修正数据取得用试料或被认为具有与所述第１修正数据取得用试料同等的高频特性的至少３个第２修正数据取得用试料的第２步骤；　根据在所述第１步 骤中准备的所述第１修正数据取得用试料的用所述基准测量系统标称的数据和在所述第２步骤中用所述实测测...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井直树，神谷岳，森太一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]