弹性表面波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种弹性表面波装置，其使用ＬｉＮｂＯ３基板，所述弹性表面波装置不仅ＩＤＴ的反射系数大，而且机电耦合系数ｋ２也大，并且扩大了实现该机电耦合系数（ｋ２）较大的范围的ＬｉＮｂＯ３基板的欧拉角范围。所述弹性表面波装置（１），在ＬｉＮｂＯ３基板（２）的上表面（２ａ）形成有多条槽（２ｂ），并设置有具有由在多条槽（２ｂ）中填充的金属材料构成的多条电极指的ＩＤＴ３，该金属材料由Ｃｕ或以Ｃｕ为主体的合金构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如作为谐振子或带通滤波器而被使用的弹性表面波装置，更详细而 言，涉及具有形成有由在电压基板上的槽中所填充的Cu构成的IDT的结构的弹性表面波装置。
技术介绍
以往，弹性表面波装置作为谐振子或带通滤波器被应用得较广泛。例如在下述的 专利文献1中公开了在图16中简略图地(略図的仁)表示剖面结构的弹性表面波装置100。在弹性表面波装置1001中，在LiNbO3基板1002的上表面1002a形成有多条槽 1002b。在多条槽1002b中填充有金属，由此形成具有由该金属构成的多条电极指(電極 指)的ITD1003。按覆盖LiNbO3基板1002的上表面1002a的方式层叠有SiO2膜1004。由 于LiNbO3基板1002具有负的频率温度系数TCF，因此通过层叠具有正的频率温度系数TCF 的SiO2膜1004而减小了弹性表面波装置1001的频率温度系数TCF的绝对值。另外，通过埋入在多条槽1002b中的金属形成IDT，从而在IDT中得到了较大的反 射系数。具体而言，示出了当设定表面波的波长为λ时，在将槽1002b中所填充的Al的厚 度即由Al构成的IDT的厚度设定为0. 04本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性表面波装置，其特征在于，具备：压电基板，其由ＬｉＮｂＯ↓［３］基板构成，并在上表面形成有多条槽；ＩＤＴ，其具有由在所述压电基板的上表面的多条槽中所填充的金属材料构成的多条电极指，所述金属材料由Ｃｕ或以Ｃｕ为主体的合金构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：门田道雄，木村哲也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]