载荷传感器制造技术

本发明专利技术提供一种载荷传感器，适合于对难以直接安装应变检测部件的检测对象产生的应变进行检测。其特征在于，具备：基底基板（１１），其具有至少两个部位相对于作为检测对象的框架部件（２０）的作为固定部的孔（１２ａ、１２ｂ）；一对应变检测元件（１５ａ、１５ｂ），它们设置在基底基板（１１）的表面，其中，所述应变检测元件（１５ａ、１５ｂ）配置在孔（１２ａ、１２ｂ）之间的区域。具备设置在基底基板（１１）的表面上且与一对应变检测元件（１５ａ、１５ｂ）一起构成电桥电路的参考电阻元件（１６ａ、１６ｂ），参考电阻元件（１６ａ、１６ｂ）配置在孔（１２ａ、１２ｂ）的外侧的区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及载荷传感器，尤其是涉及适合于对难以直接安装应变计等应变检测部 件的检测对象施加的载荷进行检测的载荷传感器。
技术介绍
以往，在载荷传感器中，已知有一种载荷传感器具备承受施加载荷而进行弹性变 形的传感器板和固定在其表面上的多个应变检测元件(应变计)，根据对传感器的施加载 荷，使传感器板进行弹性变形，由此判断施加给应变检测元件的拉伸应力及压缩应力，从而 检测出该施加载荷(例如，参考专利文献1)。另外，提出有一种载荷分布传感器在与受压部接合的受压柱的侧面上直接安装 用于检测垂直方向载荷的应变计和用于检测水平方向载荷的应变计，从而检测三维的载荷 分布(例如，参考专利文献2)。在此种载荷传感器中，近年来，随着检测对象的小型化或选择复杂的形状，要求传 感器自身的结构小型化。而且，伴随基于检测出的载荷而进行的控制的高度化，也要求以高 精度检测施加给检测对象的载荷。专利文献1 日本特开2003-294520号公报专利文献2 日本特开2000-162054号公报然而，在上述现有的载荷分布传感器中，由于采用将应变计直接安装在受压柱的 侧面上的结构，因此存在如下问题对于例如通过特殊的材料形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种载荷传感器，其特征在于，具备：基底基板，其具有至少两个部位相对于检测对象的固定部；应变检测元件，其设置在所述基底基板的表面，其中，所述应变检测元件配置在所述固定部之间的区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田良一，寺内义春，乘松孝幸，西川健太郎，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]