柔性视网膜凸点微电极芯片及其制作方法技术

一种微机电系统技术领域的柔性视网膜凸点微电极芯片及其制作方法，以聚氯代对二甲苯为柔性基底和绝缘材料，制备出由若干个微电极敏感元排列构成的微电极阵列，同时制作出电极引线及引线焊点，构成一个柔性视网膜凸点微电极芯片，这种微电极芯片植入人眼视网膜部位，可实现与视网膜神经细胞安全有效地接触，有效降低刺激脉冲电流，减少微电极植入时对生物组织造成的插入损伤，提高电刺激和神经信号记录的效果，从而更好地恢复视觉功能。本发明专利技术采用聚氯代对二甲苯作为柔性电极基底，其优异的电绝缘性能和机械性能，能够较大程度提高微电极芯片的生物相容性，且长期稳定性好。本发明专利技术采用ＭＥＭＳ工艺，实现了微电极功能单元和柔性基底的集成。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性视网膜凸点微电极芯片，包括：柔性基底、微电极阵列、电极引线、引线焊点阵列和绝缘层，其特征在于，微电极阵列、电极引线均设置在柔性基底上，微电极阵列由若干微电极敏感元按矩阵形式排列而成，每个微电极敏感元经由引出的电极引线连接到引线焊点阵列中对应的焊点，电极引线表面设有绝缘层，微电极敏感元和引线焊点暴露在外界，其中，柔性基底和绝缘层的材料均为聚氯代对二甲苯。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邢玉梅，惠春，徐爱兰，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]