【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制造粉末或薄片形式的氮化铝的方法。
技术介绍
氮化铝是一种陶瓷,其具有仅次于氧化铍的非常高的热传导性。 该特性一_其与高的容积电阻率和介电常数有关一一使得氮化铝成为 一种选择用来装配微电子元件一一其功率和密度可稳定增大_一的基 材。但氮化铝基材的使用仍然有限,尤其是由于该陶瓷的昂贵的生产 成本而使其价格很高。因此,迄今为止,其应用主要限于军事领域。存在多种生产氮化铝的方法。最常用的是在氮气气氛下通过碳热 法还原氧化铝及直接使铝粉末氮化。在通过碳热法还原氧化铝的过程中,高纯度的氧化铝在非常高的温度(1700-1900'C )下还原为铝,形成的铝依据以下反应转化为氮化 物Al203+3C+N2 = 2A1N + 3CO (1)该方法形成的氮化铝通常含有显著量的碳和氧。此外,转化条件 支出很大。因此,专利申请FR 2 715 169 (Elf Atochem) />开了一种生产 薄片形式的氮化铝粗晶的方法,通过在碳和氮的存在下碳氮化薄片状 ot-氧化铝而获得。铝粉的直接氮化可获得相当纯的陶瓷,但该方法需要处理极具爆 炸性的细的铝粉。此外,氮化反应 ...
【技术保护点】
一种制造氮化铝的方法,其中 (i)通过堆叠或卷绕制成一种多层结构,该多层结构包括N个由基于铝的轧制产品构成的层,之间被N-1个间隙分隔,N至少等于10,控制所述多层结构的平均密度使其处于0.4-2g/cm↑[3],所述间隙是开放的,以 使气体能够在所述间隙中循环, (ii)将所述多层结构在含氮气氛下加热,加热过程的热循环包括至少一个这样的阶段,在该阶段中含氮气氛的温度被维持在400℃至660℃之间,并且在该过程中发生大部分的氮化。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:M贝姆,A德赛琼,JR巴特瑞利,
申请(专利权)人:艾尔坎国际有限公司,
类型:发明
国别省市:CA[加拿大]
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