制造氮化铝的方法以及氮化铝薄片和粉末技术

技术编号:5457943 阅读:363 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种制造氮化铝的方法,其中通过堆叠或卷绕来制备含有基于铝的轧制产品的多层结构,并且在含氮气氛下加热所述多层结构,大部分的氮化在一个其中含氮气氛的温度被维持在400℃至660℃之间的阶段发生。本发明专利技术使得可通过一种既无需使用铝粉作为原料亦无需使用很高的温度的经济的方法来获得氮化铝。所获得的氮化铝包括微观结构为层状的颗粒。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制造粉末或薄片形式的氮化铝的方法。
技术介绍
氮化铝是一种陶瓷,其具有仅次于氧化铍的非常高的热传导性。 该特性一_其与高的容积电阻率和介电常数有关一一使得氮化铝成为 一种选择用来装配微电子元件一一其功率和密度可稳定增大_一的基 材。但氮化铝基材的使用仍然有限,尤其是由于该陶瓷的昂贵的生产 成本而使其价格很高。因此,迄今为止,其应用主要限于军事领域。存在多种生产氮化铝的方法。最常用的是在氮气气氛下通过碳热 法还原氧化铝及直接使铝粉末氮化。在通过碳热法还原氧化铝的过程中,高纯度的氧化铝在非常高的温度(1700-1900'C )下还原为铝,形成的铝依据以下反应转化为氮化 物Al203+3C+N2 = 2A1N + 3CO (1)该方法形成的氮化铝通常含有显著量的碳和氧。此外,转化条件 支出很大。因此,专利申请FR 2 715 169 (Elf Atochem) />开了一种生产 薄片形式的氮化铝粗晶的方法,通过在碳和氮的存在下碳氮化薄片状 ot-氧化铝而获得。铝粉的直接氮化可获得相当纯的陶瓷,但该方法需要处理极具爆 炸性的细的铝粉。此外,氮化反应2A1+ N2 = 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造氮化铝的方法,其中 (i)通过堆叠或卷绕制成一种多层结构,该多层结构包括N个由基于铝的轧制产品构成的层,之间被N-1个间隙分隔,N至少等于10,控制所述多层结构的平均密度使其处于0.4-2g/cm↑[3],所述间隙是开放的,以 使气体能够在所述间隙中循环, (ii)将所述多层结构在含氮气氛下加热,加热过程的热循环包括至少一个这样的阶段,在该阶段中含氮气氛的温度被维持在400℃至660℃之间,并且在该过程中发生大部分的氮化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:M贝姆A德赛琼JR巴特瑞利
申请(专利权)人:艾尔坎国际有限公司
类型:发明
国别省市:CA[加拿大]

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