用于微光刻的照明光学部件制造技术

一种用于微光刻的照明光学部件，该照明光学部件包括用于将照明光引导到物平面中要照明的物场的光学组件。根据本发明专利技术的第一方面，照明光学部件（２６）将照明光辐射束（３）分成多个辐射子束（２８至３０），该多个辐射子束被分配物场照明的不同照明角。照明光学部件（２６）被配置以使辐射子束（２８至３０）中的至少一些在交叠平面中交叠，该交叠平面与物平面分开且不被成像到其中发生交叠的物平面。该交叠使得交叠辐射子束（２８至３０）的边缘（３２）至少部分地重合。根据本发明专利技术的另一方面，场强度设定装置（２４）包括多个相邻的单独的光阑（２７），当对那里曝光时，该多个相邻的单独的光阑至少减弱照明光（３）。这些单独的光阑（２７）在平行于物移动方向（ｙ）的方向上可插入到照明光辐射束（３）中。场强度设定装置（２４）的所有单独的光阑（２７）可从同一侧插入到照明光辐射束（３）中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于微光刻的照明光学部件本专利技术涉及用于微光刻的照明光学部件。本专利技术还涉及包括该类型的照明光学部 件的照明系统、包括该类型的照明系统的投射曝光设备、生产结构化部件的方法、以及依照 该类型方法生产的结构化部件。本专利技术的一个目的是开发在前面提到的照明光学部件类型，这样可以影响和/或 监视物场上的照明强度分布，以使在至少可能的程度上影响照明角分布而同时确保照明光 学部件尺寸尽可能小。根据本专利技术，通过用于微光刻的照明光学部件实现该目的，该照明光学部件包 括_光学组件，用于将照明光引导到物平面中要照明的物场；-其中，该照明光学部件将照明光辐射束分成多个辐射子束，该多个辐射子束分配 给物场照明的不同照明角；其中，照明光学部件被配置以使辐射子束中的至少一些在交叠平面中交叠，该交 叠平面与物平面分开且不被成像到其中发生交叠的物平面，从而交叠的辐射子束的边缘至 少部分地重合。根据本专利技术，物平面空间上与照明光的辐射子束的交叠平面分开。物平面和交叠 平面不构成彼此成像的平面；物平面因此可以直接接着交叠平面布置。物平面和交叠平面 之间不需要光学部件来引导照明光。在交叠平面中，可以布置用于设定本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于微光刻的照明光学部件（２６），包括：－光学组件（２６ａ），用于将照明光引导到物平面（１７）中要照明的物场（１９）；－其中该照明光学部件（２６）将照明光辐射束（３）分成多个辐射子束（２８至３０），该多个辐射子束（２８至３０）分配给物场照明的不同照明角；其中，配置该照明光学部件（２６）以使辐射子束（２８至３０）中的至少一些在交叠平面（１６）中交叠，该交叠平面（１６）与物平面（１７）分开且不被成像到其中发生交叠的物平面（１７），从而交叠的辐射子束（２８至３０）的边缘（３２）至少部分地重合。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马丁恩德雷斯，拉尔夫施图茨尔，詹斯奥斯曼，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]