利用光学特性的传感器的基板制造方法及由此制造的基板技术

公开了分析传感器的基板的制造方法以及由此制备的基板。根据本发明专利技术的传感器用基板的制造方法特征在于，其包括：步骤（ａ），制备纳米粒子的分散溶液，由于用有机功能团表面改性了纳米粒子，所以纳米粒子在挥发性有机溶剂中是稳定的，纳米粒子具有预先设计的纳米级的特定尺寸；步骤（ｂ），基于Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｄｇｅｔｔ法，采用所述纳米粒子的分散溶液，在界面上制备用有机功能团表面改性的纳米粒子的单层膜，然后将所述纳米粒子的单层膜转移到基板；以及步骤（ｃ），通过真空气相沉积，用金属薄膜涂布转移有所述纳米粒子单层膜的基板，然后选择去除纳米粒子，以制造用作采用光学特性的分析传感器的纳米结构。根据本发明专利技术上述的制造传感器用基板的方法，采用Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｄｇｅｔｔ法纳米粒子可以均匀地固定在超过１０×１０ｃｍ２的大面积固体基板上，并且通过该方法，可以控制纳米粒子的大小、距离和形状以制造用作分析传感器的纳米结构，该纳米结构能够再现和大量生产。当采用由此制造的纳米结构基板测量传感器的灵敏度特性并从而用作分析传感器时，可以很好地改善灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用光学特性的分析传感器的基板制造方法以及由此制造的基板。特 别是，本专利技术涉及利用Langmuir-BlodgettaB)法来制造分析传感器的基板方法以及由此 制造的基板。
技术介绍
“利用光学特性的分析传感器"的基板是指用于表面等离子体激元谐振 (Surface Plasmon Resonance，在下文称为〃 SPR")的基板、表面增强拉曼散射基板、光学 生物传感器基板、电化学传感器基板、机械传感器基板和SPM(扫描探针显微镜)传感器基 板等。在下文，简称为"分析传感器"。在它们当中，主要用作分析传感器芯片的表面等离子体激元是指沿着金属薄膜和 电介质材料之间的界面进行的电子浓度振荡现象。表面等离子体激元是沿着金属和电介质 材料之间的界面行进的电磁波，表面等离子体激元不在电介质材料内部传播而是仅呈现在 表面上，这是因为表面等离子体激元的波矢量的大小大于在电介质材料内部行进的光的矢 量。因此，为了激发表面等离子体激元，需要使波矢量变大。作为提高波矢量的方法，采用利用高折射率棱镜的衰减全反射法(attenuated total reflection)。该方法采用棱镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分析传感器的基板的制造方法，其特征在于所述方法包括：步骤（ａ），通过用有机功能团对纳米粒子进行表面改性并且将表面改性的纳米粒子分散在挥发性有机溶剂中来制备所述纳米粒子的分散溶液；步骤（ｂ），基于Ｌａｎｇｍｕｉｒ－Ｂｌｏｄｇｅｔｔ法，采用所述纳米粒子的分散溶液来制备用所述有机功能团进行表面改性的纳米粒子的单层膜，然后将所述纳米粒子的单层膜转移到所述基板；以及步骤（ｃ），通过真空气相沉积，用金属薄膜涂布转移有所述纳米粒子的单层膜的所述基板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵镛珍，金哲镇，金钟泰，崔成旭，金在浩，金孝燮，金镇浩，
申请(专利权)人：韩国食品研究院，
类型：发明
国别省市：KR