锍盐引发剂制造技术

化学式Ｉ的化合物，其适合用来作为光致潜酸发生剂。其中Ｘ为单键、ＣＲａＲｂ、Ｏ、Ｓ、ＮＲｃ或ＮＣＯＲｃ；Ｚ为式（ＩＩ）或Ｃ３－Ｃ２０杂芳基；Ｌ、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７和Ｌ８例如彼此独立地为氢或有机取代基；Ｒａ、Ｒｂ和Ｒｃ彼此独立地为氢或有机取代基；Ｒ例如为Ｃ５－Ｃ２０杂芳基或Ｃ６－Ｃ１４芳基；并且Ｙ为无机或有机阴离子。Ｚ是

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】锍盐引发剂本专利技术与新颖的锍盐光敏引发剂以及其在光可固化组合物(特别是抗蚀剂组合 物)中的用途有关。锍盐在本领域中已知可以被用来作为光敏引发剂。在GB 206U80中，公开了 包含有苯硫基部分的三芳基锍盐。由US 4451409、US 4694029和WO 07/118794中已 知此类型的其它化合物(特别是具有苯氧基的)，例如三(4-苯氧基苯基)锍六氟磷酸 盐。WO 03/072567与WO 03/008404公开了锍盐，其中锍盐离子位于稠环系统中，例 如在噻吨基(thioxanthyl)部分中。在JP 08-311018-A中，公开一种用于锍盐的制备方法 以及三(4-丁氧基苯基)锍和三锍阳离子。US 2003/0235782 和US2005/0100819提供应用于在光抗蚀剂中的锍盐。WO 07/003507公开具有苯 基-COOR-基团部分的锍盐，而WO 08/040648公开具有特定取代基的锍盐。权利要求1.式I的化合物2.根据权利要求1的式I的化合物，其中3.根据权利要求2的式I的化合物，其中R是苯基或以一个或多个C1-C2tl烷基、羟基或OR12取代的苯基；4.R1是C1本文档来自技高网...

【技术保护点】
式Ⅰ的化合物　　＊＊＊　（Ⅰ），其中　　Ｘ是单键、ＣＲ↓［ａ］Ｒ↓［ｂ］、Ｏ、Ｓ、ＮＲ↓［ｃ］或ＮＣＯＲ↓［ｃ］；　　Ｚ是＊＊＊、Ｃ↓［３］－Ｃ↓［２０］杂芳基或以至少一个Ｌ取代的Ｃ↓［３］－Ｃ↓［２０］杂芳基；Ｌ、Ｌ↓［１］、Ｌ↓［２］、Ｌ↓［３］、Ｌ↓［４］、Ｌ↓［５］、Ｌ↓［６］、Ｌ↓［７］和Ｌ↓［８］彼此独立地为氢、Ｒ↓［１］、ＯＲ↓［１］、ＳＲ↓［１］、ＮＲ↓［１］Ｒ↓［２］、卤素、ＮＯ↓［２］、ＣＮ、ＮＲ↓［１］ＣＯＲ↓［２］、ＣＯＲ↓［１］、ＣＯＯＲ↓［１］、ＯＣＯＲ↓［１］、ＣＯＮＲ↓［１］Ｒ↓［２］、ＯＣＯＯＲ↓［１］、ＯＣＯＮＲ↓［１］Ｒ↓［２］、ＮＲ↓［１］ＣＯＯＲ↓［２...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P哈约兹，大和仁志，朝仓敏景，
申请(专利权)人：巴斯夫欧洲公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]