【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种使用反射型电寻址空间光调制器的相位调制装置以及相位调制 方法。
技术介绍
一直以来，作为反射型电寻址空间光调制器，已知有使用LC0S(Liquid Crystal On Silicon)的 LCOS 型空间光调制器(LCOS-SLM =LCOS-Spatial Light Modulator)。如果 向像素电极施加电压，则LCOS型空间光调制器的液晶分子在与基板垂直的面中旋转，使入 射光的相位调制量变化。然而，由于相位调制量相对于在像素电极上施加的电压成非线性 变化，因而会产生无法得到所期望的相位调制量的问题。由于LCOS型空间光调制器的硅基板由半导体工艺进行处理，因而不能设置得很 厚而导致机械强度很弱。因此，如图1所示，由元件制造的各工艺所产生的应力而使硅基板 发生应变，使LCOS型空间光调制器的镜面的平面度降低。此外，由于硅基板的应变，LCOS型 空间光调制器的液晶层的厚度也会不均勻。因此，各像素中的相位调制量对应于液晶层的 厚度而变得不同，由于该相位调制量的偏差和反射面的应变，被LCOS型SLM反射而输出的 波面会产生较大的应变，此外，会...
【技术保护点】
一种相位调制装置，其特征在于，具备：反射型电寻址空间光调制器，其具备以彼此相邻的方式配置成二维状的多个像素，各像素对应于驱动电压的施加而对输入光进行相位调制；输入光条件输入单元，输入所述输入光的条件；输入值设定单元，对各像素设定输入值；修正条件决定单元，对应于所述输入光的条件决定修正条件；输入值变换单元，基于所述修正条件，将对各像素所设定的所述输入值变换为修正后输入值；以及驱动单元，将所述修正后输入值变换为电压值，并使用所述电压值的驱动电压来驱动各像素。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-12-5 2007-315212一种相位调制装置，其特征在于，具备反射型电寻址空间光调制器，其具备以彼此相邻的方式配置成二维状的多个像素，各像素对应于驱动电压的施加而对输入光进行相位调制；输入光条件输入单元，输入所述输入光的条件；输入值设定单元，对各像素设定输入值；修正条件决定单元，对应于所述输入光的条件决定修正条件；输入值变换单元，基于所述修正条件，将对各像素所设定的所述输入值变换为修正后输入值；以及驱动单元，将所述修正后输入值变换为电压值，并使用所述电压值的驱动电压来驱动各像素。2.如权利要求1所述的相位调制装置，其特征在于，所述修正条件决定单元对应于所述输入光的入射角度而决定所述修正条件。3.如权利要求1所述的相位调制装置，其特征在于，所述修正条件决定单元对应于所述输入光的波长而决定所述修正条件。4.如权利要求1所述的相位调制装置，其特征在于，所述修正条件决定单元对应于所述输入光的入射角度和所述输入光的波长而决定所 述修正条件。5.如权利要求2 4中的任意一项所述相位调制装置，其特征在于， 还具备修正值输出单元，输出用于修正非电压依赖性应变的修正值；以及 修正值变换单元，基于所述修正条件，将从所述修正值输出单元输出的修正值变换为 修正后修正值，所述驱动单元基于所述修正后输入值和所述修正后修正值而设定电压值。6.如权利要求1所述的相位调制装置，其特征在于，所述反射型电寻址空间光调制器包括LCOS型空间光调制器。7.如权利要求1所述的相位调制装置，其特征在于，还具备查找表存储单元，所述查找表存储单元至少对一个像素存储一个查找表， 所述查找表存储多个彼此不同的参照值和多个电压指示值，所述多个彼此不同的参照 值和多个电压指示值一对一地对应，各电压指示值表示对应的电压值，所述驱动单元参照所述查找表，选择相对于与所述修正后输入值相等的参照值的所述 电压指示值，之后，基于所述选择的电压指示值，决定该电压指示值所表示的电压值。8.如权利要求7所述的相位调制装置，其特征在于， 所述查找表中，所述多个参照值包括最小的参照值、比所述最小的参照值大的中间的参照值和比所述 中间的参照值大的最大的参照值，并且比所述最小的参照值大且比所述中间的参照值小的 参照值的总数为254，所述多个电压指示值包括与所述最小的参照值对应的最小的电压指示值、比所述最小 的电压指示值大且与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：松本直也，福智昇央，井上卓，伊崎泰则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。