表面波装置及双工器制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种表面波装置及双工器，所述表面波装置即使随着小型化、特别是薄型化的进展，也不易由于模制树脂层形成时的熔融树脂的压力而产生变形，不易导致特性的劣化。所述表面波装置（１）中，在压电基板（２）上形成有ＩＤＴ电极（３），绝缘部件（１８）形成在压电基板（２）上而形成包围ＩＤＴ电极（３）的空间（Ｂ），为了减小空间Ｂ的面积，在配置于ＩＤＴ电极（３）的两侧的反射器（４、５）中设有加权部分，该加权部分通过使电极指的长度随着从ＩＤＴ电极（３）侧向远离ＩＤＴ电极（３）的一侧变短而进行加权，与此对应，空间（Ｂ）的形状变小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用作例如谐振子或带通滤波器的表面波装置，更详细而言，涉及具有 在设有IDT电极的区域的表面波传播方向两侧配置有反射器的结构的表面波装置及使用 了该表面波装置的双工器。
技术介绍
目前，表面波装置广泛用作在便携式电话机的RF段使用的带通滤波器等。在表面波装置中，在压电基板上形成有IDT电极。通过对IDT电极施加交流电压， 形成有IDT电极部分被激励。由此，需要形成具有用于使该振动不受妨碍的空间的封装件。 因此，表面波装置整体不得不变大。在下述专利文献1中，提出了能够促进这种表面波装置的小型化的结构。图9是 专利文献1所记载的表面波装置的主视剖视图。在表面波装置501中，在压电基板502上 形成有IDT电极503。以覆盖IDT电极503的方式形成有保护膜504。在压电基板502上 形成有包围壁505。包围壁505由绝缘性材料构成，以包围形成有IDT电极503的部分的方 式形成。在包围壁505的上表面层叠有盖体506。盖体506由绝缘性材料构成，封闭包围壁 505所围成的空间A。由此，确保用于使IDT电极503的激励不受妨碍的空间A。此外，在压电基板502的上表面形成有与IDT电极503等电连接的凸点507、508。 凸点507、508贯通包围壁505，进而到达设于上述盖体506的贯通孔506a、506b，直至盖体 506的上表面的上方。如图10所示，上述表面波装置501以表面安装的方式安装在配线基板510上。这 里，在配线基板510的上表面形成有电极焊盘511、512，表面波装置501以将凸点507、508 连接到电极焊盘511、512的方式安装于配线基板510。专利文献1 日本特开2006-217226号公报。
技术实现思路
在表面波装置501中，通过包围壁505及盖体506来确保用于使IDT电极503的 激励不受妨碍的空间A。其中，由于设有贯通上述包围壁505及盖体506的凸点507、508， 因此，尽管具有空间A，也实现了小型且能够进行表面安装的结构。在安装于配线基板510 后，利用模制树脂覆盖表面波装置501的周围。若在盖体506与配线基板510的上表面之间存在间隙，则模制树脂浸入间隙。因 浸入后的模制树脂的压力而导致盖体弯曲，存在空间A被破坏或盖体506的内表面与IDT 电极503接触的可能性。对应于此，在表面波装置501中，由于盖体506与配线基板510接触，因此，不存在 上述间隙，不易由于模制树脂的压力而产生不良情况。然而，随着进一步小型化，例如薄型化的发展，盖体506的厚度变薄。由此，当盖体 506的厚度变薄时，由于存在上述空间A，仍存在树脂模制时盖体506发生变形、或盖体506与IDT电极503直接或间接接触的可能性。若盖体506发生变形、其内表面与形成有IDT 电极503的部分等接触，则滤波特性或共振特性劣化。本专利技术的目的在于，为了解决所述现有技术的缺点而提供一种随着小型化的进展 能够可靠地防止向盖体的IDT电极等接触的表面波装置。 根据本专利技术，提供一种表面波装置，其特征在于，具有压电基板；IDT电极，其形 成在所述压电基板的上表面；反射器，其配置在设有所述IDT电极部分的表面波传播方向 两侧；绝缘部件，其以形成所述IDT电极及所述反射器所面对的封闭空间的方式形成在所 述压电基板上，该绝缘部件具有包围该空间的侧壁及封闭空间的上部的顶板，对所述反射 器实施加权，使所述反射器具有所述反射器的多根电极指中电极指的长度在从所述反射器 中与IDT电极相邻的第一端部侧的电极指朝向所述第一端部相反侧的第二端部侧的方向 上逐渐变短的部分，所述绝缘部件的侧壁在该反射器的加权部分相对于表面波传播方向倾 斜。本专利技术的表面波装置的另一特征在于，还具备垫电极，其形成在所述压电基板 上，且与所述IDT电极电连接；端子电极，其形成在所述绝缘部件的上表面；导电部件，其电 连接所述垫电极和所述端子电极。这种情况下，通过使形成有端子电极的绝缘部件的上表 面侧与配线基板上的电极焊盘接触，从而能够容易地对表面波装置进行表面安装。另外，优选的是，所述导电部件是以贯通绝缘部件的方式设置的贯通型导电部件， 这种情况下，能够促进表面波装置的进一步小型化。在本专利技术中，IDT电极的数量并没有特别限定，本专利技术的表面波装置的又一特征在 于，构成具有沿表面波传播方向配置的至少三个IDT电极作为所述IDT电极的纵结合谐振 子型的表面波滤波器。另外，本专利技术的表面波装置的再一特征在于，设有一个IDT电极作为所述IDT电 极，该IDT电极具备第一、第二汇流条；从所述第一汇流条内侧的边向第二汇流条延伸的 多根第一电极指；从所述第二汇流条内侧的边向所述第一汇流条侧延伸的多根第二电极 指，该IDT电极被交叉宽度加权，所述第一、第二汇流条中至少一方的汇流条的外侧的边具 有与交叉宽度加权对应而相对于表面波传播方向倾斜的部分，所述绝缘部件具有与该倾斜 的外侧的边平行延伸的所述侧壁部分。本专利技术的表面波装置的再一特征在于，所述IDT电极还具备所述IDT电极还具 备第一虚设电极，其隔开间隔与所述第一电极指的前端对置，且连接到所述第二汇流条； 第二虚设电极，其隔开间隔与所述第二电极指的前端对置，且连接到所述第一汇流条，对所 述IDT电极实施交叉宽度加权，从而具有交叉宽度随着从所述IDT电极中电极指交叉宽度 最大的部分朝向所述弹性表面波传播方向两侧而减少的交叉宽度加权部分，所述第一汇流 条的连接所述第一电极指及第二虚设电极的边以与所述交叉宽度加权的包络线隔开固定 的距离配置的方式具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，所述第二汇流条的连 接所述第二电极指及所述第一虚设电极的边以与所述交叉宽度加权的包络线隔开固定的 距离配置的方式具有相对于弹性表面波传播方向倾斜的倾斜部分，在所述IDT电极的最外 侧电极指与所述反射器的IDT电极侧的电极指相邻的部分，反射器的电极指的长度同IDT 电极的所述电极指的长度与虚设电极的长度之和大致相等，其中，所述虚设电极与IDT电 极的电极指前端对置。这种情况下，能够减小IDT电极的电极指交叉部分以外的区域的面积，由此，能够进一步减小所述封闭空间的面积。本专利技术的表面波装置可以具有各种电路结构，本专利技术的表面波装置的再一特征在 于，具备由本专利技术的表面波装置构成的串联臂谐振子、由本专利技术的表面波装置构成的并联 臂谐振子，利用该串联臂谐振子和并联臂谐振子构成梯形滤波器。由此，能够提供小型且不 易因绝缘部件的变形而导致特性劣化、可靠性优越的梯形滤波器。另外，在本专利技术中，所述绝缘部件形成为各种形态，本专利技术的表面波装置的再一特 征在于，所述绝缘部件形成在所述压电基板上，且具有支承层，其形成有使设有所述IDT 电极及所述反射器的区域露出的开口部；罩，其以关闭所述支承层的开口部的方式层叠于 所述支承层上。这种情况下，形成支承层后，仅通过在支承层上层叠罩，就能够容易地形成 绝缘部件。本专利技术的表面波装置用于各种通信设备，本专利技术提供一种双工器，其特征在于，具 备具有梯形滤波电路的发送侧滤波器；使用根据本专利技术构成的表面波装置构成的接收侧 滤波器；安装有所述发送侧滤波器及所述接收侧滤波器的配线基板；以密封安装在所述配 线基板上的所述发送侧滤波器及接收本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面波装置，其特征在于，具有：压电基板；ＩＤＴ电极，其形成在所述压电基板的上表面；反射器，其配置在设有所述ＩＤＴ电极部分的表面波传播方向两侧；绝缘部件，其以形成所述ＩＤＴ电极及所述反射器所面对的封闭空间的方式形成在所述压电基板上，该绝缘部件具有包围该空间的侧壁和封闭空间的上部的顶板，对所述反射器实施加权，使所述反射器具有所述反射器的多根电极指中电极指的长度在从所述反射器中与ＩＤＴ电极相邻的第一端部侧的电极指朝向所述第一端部相反侧的第二端部侧的方向上逐渐变短的部分，且所述绝缘部件的侧壁在该反射器的加权部分相对于表面波传播方向倾斜。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-12-11 2007-319287一种表面波装置，其特征在于，具有压电基板；IDT电极，其形成在所述压电基板的上表面；反射器，其配置在设有所述IDT电极部分的表面波传播方向两侧；绝缘部件，其以形成所述IDT电极及所述反射器所面对的封闭空间的方式形成在所述压电基板上，该绝缘部件具有包围该空间的侧壁和封闭空间的上部的顶板，对所述反射器实施加权，使所述反射器具有所述反射器的多根电极指中电极指的长度在从所述反射器中与IDT电极相邻的第一端部侧的电极指朝向所述第一端部相反侧的第二端部侧的方向上逐渐变短的部分，且所述绝缘部件的侧壁在该反射器的加权部分相对于表面波传播方向倾斜。2.根据权利要求1所述的表面波装置，其中，还具备垫电极，其形成在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接； 端子电极，其形成在所述绝缘部件的上表面； 导电部件，其电连接所述垫电极和所述端子电极。3.根据权利要求2所述的表面波装置，其中，所述导电部件是以贯通所述绝缘部件的方式设置的贯通型导电部件。4.根据权利要求1 3中任一项所述的表面波装置，其中，为具有沿表面波传播方向配置的至少三个IDT电极作为所述IDT电极的纵结合谐振子 型的表面波滤波器。5.根据权利要求1 4中任一项所述的表面波装置，其中， 具有一个IDT电极作为所述IDT电极，该IDT电极具备 第一、第二汇流条；从所述第一汇流条内侧的边向第二汇流条延伸的多根第一电极指； 从所述第二汇流条内侧的边向所述第一汇流条侧延伸的多根第二电极指，该IDT电极 被交叉宽度加权，所述第一、第二汇流条中至少一方的汇流条的外侧的边具有与交叉宽度加权对应而相 对于表面波传播方向倾斜的部分，所述绝缘部件具有与该倾斜的外侧的边平行延伸的所述 侧壁部分。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰裕一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]