基板检查装置制造方法及图纸

提供即使基板大型化也能够通过车辆方便地进行运输并在运输目的 地简单地进行组装、并且能够降低运费的基板检查装置。该基板检查装 置具有：检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向 垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使基板浮 起固定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式组装 在机架的脚部与检查用浮台部之间的检查基座上，沿着传送基板的传送 路径的一侧边缘，相对于检查单元配置成T字形，保持基板使其沿传送 方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输传 送单元和检查单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检查玻璃基板这样的薄板状基板的基板检查装置。
技术介绍
以往，公知有如下这样的、将通过光刻工艺线制造出的用于平板显 示器(FPD)的大型玻璃基板作为对象的基板检查装置该基板检査装置 在使玻璃基板气浮在浮台上的状态下，沿传送方向传送玻璃基板，利用 安装在跨越浮台而设置的机架上的检查头来检查玻璃基板表面的缺陷。 在这种基板检査装置中，在坚固的检查用基座上一体地组装有以下部分: 使玻璃基板浮起的浮台；保持浮起的玻璃基板并沿传送方向强制传送该 基板的基板传送机构；以及设置有检査头、并可以使该检査头沿与传送 方向垂直的方向移动的门形机架。检查用基座采用了如下结构将相当 于大型玻璃基板2倍大小的花岗岩和钢架焊接成细长的矩形框架。近年来，用于FPD的玻璃基板(素玻璃)向大型化发展，并出现了 超过2.5m、 3m的基板。当玻璃基板的宽度尺寸超过2m时，如果在玻璃 基板的宽度尺寸2m上加上用于安装机架的空间，则一体组装有机架的检 査装置的宽度尺寸就会超过2.5m。在道路法等法律中，将无须许可即可 通行的车辆的宽度限制为2.5m。因此，当运输宽度超过2.5m的检査装置 时，必须要安排特殊车辆，得到通行许可，并在得到该通行许可的通行 时间和通行路径内进行运输，从而产生了不能自由运输的问题和运费大 幅上升的问题。这样，当基板检査装置随着玻璃基板的大型化而向大型化发展时， 需要向FPD制造工厂进行运输的特殊车辆和用于搬入到工厂内的特殊运 输装置。对于检查尺寸为3m的玻璃基板的基板检查装置而言，由于安装 有跨越浮台的机架，因此其宽度尺寸会超过4m，产生了即使特殊的卡车5也无法进行运输的新问题。例如在专利文献1中公开了用于解决这种问题的基板检査装置。 当待检查的玻璃基板的尺寸变大时，用于将玻璃基板高精度地支撑 为平坦水平状态的花岗岩基座也会变大变重，存在不便于运输和成本上 升的问题，因此该基板检査装置针对该问题而釆用了尽量减小花岗岩基 座的结构。并且，该基板检査装置可以分割成3个钢架、具有花岗岩基座的机架子组件、具有真空触点的2个Y轴直线伺服电机组件、以及2 个风动工作台，之后运输到作为运输目的地的FPD制造工厂，在当地的 装配场所进行组装。专利文献1日本特幵2005-62819号公报但是，专利文献1所公开的基板检查装置在花岗岩的基座上安装了 装配有真空吸嘴的吸盘阵列和气动卡盘，在玻璃基板的传送中通过加压 空气使玻璃基板浮起，在检査中通过真空气体进行固定，因此在每次检 査时必须重复吸附玻璃基板/使玻璃基板浮起的动作，很难縮短检查时间。 并且，由于2个Y轴直线伺服电机组件是隔着机架子组件来配置的，因 此在检查过程中交接玻璃基板时，玻璃基板可能发生偏离，或者由于吸 附保持着玻璃基板的前端部和后端部，从而玻璃基板可能以该吸附保持 部为中心进行旋转。尤其，在沿按压玻璃基板的方向进行传送时，玻璃 基板的重心容易移动，玻璃基板的传送姿势不稳定。此外，由于从中央钢架上分割出机架子组件，然后又从上部钢架和 下部钢架上分割出2个Y轴直线伺服电机组件，从而要现场进行组装， 因此很难将2个Y轴直线伺服电机组件的基准轴(Y轴)调校成与机架 子组件的基准轴(X轴)成直角。即，在通过焊接使分割成三部分的钢 架合为一体时，如果机架子组件和2个Y轴直线伺服电机组件的安装位 置发生偏离，则必须现场调节2个Y轴直线伺服电机组件的直线度和各 Y轴直线伺服电机组件相对于机架子组件的直角度，从而组装起来十分 烦杂。并且，由于2个Y轴直线伺服电机组件隔着机架子组件来进行配 置，因此需要同时调校各Y轴直线伺服电机组件相对于机架子组件的直 角度、以及2个Y轴直线伺服电机组件的直线度这二者，并且还需要进行3个钢架的位置对准，因此产生现场调节作业十分烦杂的问题。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种便于运输 和现场组装并能够降低成本的基板检査装置。为了实现上述目的，本专利技术提供下述手段。本专利技术的一个方式是一种基板检查装置，该基板检査装置具有检 查单元，其在检査基座上一体地组装有检查与基板传送方向垂直的检査线的检查头、支撑该检査头的机架、以及使所述基板浮起固定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘相对于所述检査单元配置成T字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位 来分解并运输所述传送单元和所述检查单元。根据这种方式，本专利技术能够通过相互组装检査单元和传送单元而构 成，在运输时和装配时可以以单元为单位来进行。其结果，可以以单元 为单位来分解用于检查大型基板的大型基板检查装置，便于运输。在该情况下，检査单元由悬浮支撑基板的检查用浮台部、检查头和 机架构成，因此可以单独地进行能实现基板检査所需的精度的装配调节。在上述方式中，可以在检査基座上设置抵接部件，该抵接部件具有 相对于检查用浮台部水平地安装传送单元的基准面、和相对于检查头的 检查线直角安装的基准面。在这种情况下，通过使传送单元与设置在检査基座的抵接部件抵接， 能够将检查单元和传送单元高精度地组装起来。在上述方式中，可以将检查用浮台设为能够以不妨碍检查的平坦度 来悬浮支撑基板的宽度尺寸。在这种情况下，可以将检查用浮台的传送方向的宽度尺寸縮短为基 板的若干分之一，使检查单元的传送方向的宽度尺寸成为车辆的车宽以 内，从而能够一体地运输检査单元。在上述方式中，可以在检査单元上安装延长浮台单元或延长辊台单元。在这种情况下，利用延长浮台单元或延长辊台单元来扩大支撑大型 基板的传送路径，能够平稳地传送大型基板。并且，通过将传送单元安 装在检查单元的检查用浮台部和延长浮台单元的一端侧，能够保持由浮 台部和延长浮台单元支撑的基板，使基板沿与检查头移动方向垂直的方 向移动。由此，能够对基板整体进行二维检查。在该情况下，通过在检查单元上安装延长浮台单元，从而基板的整 面被检查用浮台部或延长浮台单元支撑为悬浮状态而进行检査和传送， 因此基板不会因传送时的摩擦而损坏，能够保持完好的状态。此外，因 为传送时不会产生摩擦，因此能够提高传送速度进而提高吞吐量。在上述方式中，可以在与基板传送方向垂直的方向上隔开间隔地排 列细长的浮起单元而构成延长浮台部。在该情况下，延长浮台单元与检查单元的浮台部不同，由于不支撑 基板的检査区域，因此并不严格要求达到在延长浮台单元上支撑的基板 的平坦度。因此，通过隔开间隔地配置细长的浮起单元，能够省略间隔 部分处的浮起单元而减轻重量，作为结果能够防止延长浮台单元的传送 方向的刚性降低。在上述方式中，可以在检査用浮台部与延长浮台单元的接合部分上 设置用于跨越传送面的台阶的辊子。并且，该辊子可以沿着检査用浮台 部的传送方向的两侧而设置在检查基座上。在该情况下，不需要调节传送面的高度，即能够将延长浮台单元简 便地安装到检査单元上。通过利用配置在检查用浮台的检查区域两侧的 辊子来限制基板的浮起高度，能够良好地保持基板的平坦度。并且，在上述方式中，可以在传送单元的传送基座的下表面上设置 传送用轴承。在该情况下，能够使重量较重的传送单元在进行微小移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其特征在于，　该基板检查装置具有：　检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使所述基板浮起一定高度的检查用浮台部；以及　传送单元，其以能 够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘，相对于所述检查单元配置成Ｔ字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，　在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输所述 传送单元和所述检查单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2006.9.22 JP 257781/20061.一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有检查单元，其在检查基座上一体地组装有对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使所述基板浮起一定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘，相对于所述检查单元配置成T字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输所述传送单元和所述检查单元。2. 根据权利要求1所述的基板检査装置，其特征在于， 所述检查单元在所述机架的脚部与所述检査用浮台部之间的所述检查基座上设置有抵接部件，该抵接部件具有相对于所述检查用浮台部水 平地安装所述传送单元的基准面、和相对于所述检查头的检查线直角安 装的基准面。3. 根据权利要求1所述的基板检査装置，其特征在于，所述检查用浮台部相对于所述检查头的检查线具有如下宽度尺寸的 检査区域，该宽度尺寸能够以不妨碍所述基板的检查的平坦度来悬浮支 撑该基板。4. 根据权利要求1 3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于， 所述检查用浮台部同时进行空气的排出和吸入，使所述基板高精度地、平坦地浮起固定的高度。5. 根据权利要求1所述的基板检査装置，其特征在于， 所述检查单元在所述检查用浮台部的传送方向上的至少一侧，以能够装卸的方式安装有水平支撑所述基板的延长浮台单元或延长辊台单 元，在所述运输时能够从所述检査单元上拆卸下该延长浮台单元或延长辊台单元而进行运输。6. 根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于， 所述延长浮台部在与基板传送方向垂直的方向上隔开间隔地排列有细长的浮起单元。7. 根据权利要求l所述的基板检查装置，其特征在于，所述检查单元在所述检查用浮台部的传送方向上的至少一侧，以能 够装卸的方式安装有使所述基板浮起而水平支撑该基板的延长浮台单 元，在所述检查用浮台部与延长浮台单元的接合部分上设置有用于跨越 传送面的台阶的辊子。8. 根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：城崎修哉，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP