压力测量变换器制造技术

公开了一种前部平齐的干式压力测量变换器，其能够在较大的温度范围实现可靠的测量并且包括：不锈钢制成的过程连接（１，１ａ，１ｂ），其用于将压力测量变换器固定在测量位置；和压力传感器模块（３，１７，２９，４１）。该压力传感器模块（３，１７，２９，４１）包括不锈钢支架（５，１９，３１，４３），金属的隔离薄膜（７，２３，３５，５１）利用纯金属连接而前部平齐地插入在该支架中，待测压力（ｐ）在测量操作期间作用于隔离薄膜（７，２３，３５，５１）的外侧。支架（５，１９，３１，４３）利用纯金属连接而前部平齐地插入过程连接（１，１ａ，１ｂ）。压力传感器模块（３，１７，２９，４１）还包括由支架（５，１９，３１，４３）支承的钛圆盘（７，２７，５３），内部装配了硅传感器（１５）的蓝宝石托架（１３）位于钛圆盘（７，２７，５３）上。钛圆盘（７，２７，５３）形成隔离薄膜（２３，３５，５１），或者与隔离薄膜（２３，３５，５１）机械连接使得隔离薄膜（２３，３５，５１）的偏转引起钛圆盘（２７）的相应偏转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种压力测量变换器。
技术介绍
在压力测量
，压力测量变换器用于检测压力。测量的压 力在工业中例如用于控制或调节过程。在大量工业应用中，压力测量变换器经受剧烈的有时非常突然的 温度波动。另外，在某些工业，例如制药工业中，有非常高的卫生要 求。通常在这些工业中使用清洁处理，其中压力传感器可能面临严重 的温度波动。这种清洁处理的例子是所谓的原地清洁(CIP)或原地杀菌(SIP)处理，其中容器被清洁或杀菌而无需首先清除测量仪表或变换器。在这种情况中，例如喷头设置在容器中，用于输送清洁 化学品和水或蒸汽，并用于根据需要漂洗、清洗或煮沸容器。根据应用场合，温度可以例如在-20° C到200° C的范围。这种较宽温度范围在压力传感器的测量精度方面产生问题。压力 传感器通常由不同材料的多种部件组装，这些不同材料随温度发生不 同的热膨胀，这导致部件的受力、弯曲，在最坏的情况甚至发生形变。如今，许多压力测量变换器具有压力介质，其通过压力传递液体 而将作用于隔离薄膜的待测压力传递至压敏测量元件。压力传递液体 的热膨胀系数使得，在压力测量变换器中包含的液体的体积随温度而 变化。这导致本文档来自技高网...

【技术保护点】
压力测量变换器，包括：　－不锈钢制成的过程连接（１，１ａ，１ｂ），其用于将所述压力测量变换器固定在测量位置；　－压力传感器模块（３，１７，２９，４１），其包括　－－不锈钢制成的支架（５，１９，３１，４３），　－－－金属的隔离薄膜（７，２３，３５，５１）利用纯金属连接而前部平齐地装入该支架中，在测量操作期间待测压力（ｐ）作用于该隔离薄膜的外侧面，　－－－支架利用纯金属连接而前部平齐地装入所述过程连接（１，１ａ，１ｂ）；和　－－由所述支架（５，１９，３１，４３）支承的钛圆盘（７，２７，５３），　－－－内嵌有硅传感器（１５）的蓝宝石托架（１３）位于钛圆盘上，并且　－－－钛圆盘形成所述隔离薄膜（７），...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】DE 2006-7-26 102006035230.01. 压力测量变换器，包括-不锈钢制成的过程连接(1，1a，1b)，其用于将所述压力测量变换器固定在测量位置；-压力传感器模块(3，17，29，41)，其包括--不锈钢制成的支架(5，19，31，43)，---金属的隔离薄膜(7，23，35，51)利用纯金属连接而前部平齐地装入该支架中，在测量操作期间待测压力(p)作用于该隔离薄膜的外侧面，---支架利用纯金属连接而前部平齐地装入所述过程连接(1，1a，1b)；和--由所述支架(5，19，31，43)支承的钛圆盘(7，27，53)，---内嵌有硅传感器(15)的蓝宝石托架(13)位于钛圆盘上，并且---钛圆盘形成所述隔离薄膜(7)，或者与隔离薄膜(23，35，51)机械连接使得所述隔离薄膜(23，35，51)的偏转引起所述钛圆盘(27，53)的相应偏转。2. 根据权利要求l所述的压力测量变换器，其中，支架(5， 19， 31， 43)和过程连接(1， la， lb)之间的金属连接是焊接。3. 根据权利要求l所述的压力测量变换器，其中，蓝宝石托架(13) 通过硬焊而位于钛圆盘(7， 27， 53)上。4. 根据权利要求1所述的压力测量变换器，其中，钛圆盘(7) 形成隔离薄膜(7)，并且隔离薄膜(7)和支架(5)之间的金属连接 包括钛制成的环形薄膜托架(9)，-该薄膜托架前部平齐地焊接在支架(5)中，并且与过程连接(l， la， lb)前部平齐地终止，-隔离薄膜(7)前部平齐地焊接在该薄膜托架中，并且 -该薄膜托架在其指向压力测量变换器内部的内侧面上具有环形 环绕的凹口 (11)，— 通过该凹口，薄膜托架(9)能够吸收由于隔离薄膜(7)和过程连接(1， la， lb)的不同热膨胀系数而产生的应力。5.根据权利要求l所述的压力测量变换器，其中， -隔离薄膜(23)由不锈钢圆盘构成，-隔离薄膜(23)和支架(19)之间的金属连接是焊接，并且 -钛圆盘(27)位于隔离薄膜(23)的内侧面上。6.根据权利要求5所述的压力测量变换器，其中，钛圆盘(27) 被利用硬焊连接，特别是利用多个硬焊连接点而放置在不锈钢制成的 隔离薄膜(23)上。7.根据权利要求l所述的压力测量变换器，其中，-支架(31)为管状，-隔离薄膜(35)是不锈钢圆盘，--该不锈钢圆盘前部平齐地装入支架(31)的第一末端(33)， -支架(31)和隔离薄膜(35)之间的金属连接是焊接， -支架(31)的第一末端(33)与过程连接(1， la， lb)前部平 齐地终止，-钛圆盘(27)位于支架(31)的第二末端(37)上，— 其中内嵌有硅传感器(15)的蓝宝石托架(13)设置在钛圆 盘(27)背离支架(31)的面上，以及— 其中钛圆盘(27)的外边缘与支架(31)的第二末端(37) 相连，和-提供与隔离薄膜(35)和钛圆盘(27)相连的柱塞(39)， -该柱塞用于将隔离薄膜(35)的机械偏转传递到钛圆盘(27) 上，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷蒙德贝谢，谢尔盖洛帕京，阿克塞尔洪佩特，
申请(专利权)人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]