楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法技术

本发明专利技术涉及一种楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法，该方法包括下述步骤：对Ｎ个基片的左侧面和右侧面进行研磨并抛光，使其左侧面平行于右侧面；将Ｎ片基片依次叠放并固定，研磨各基片的上、下表面使其垂直于侧面；将标准块置于基底的一端，楔形块置于基底上，且楔形块的左侧面与标准块的右侧面共面；将各基片依次叠放于楔形块上，然后将各基片粘接固定，得到阶梯结构。本发明专利技术能够有效提高阶梯表面粗糙度精度、纵向尺寸精度及重复性，工艺可控性强，重复性好，微反射镜表面粗糙度小，平面度高，可应用于可见及红外波段。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微阶梯反射镜的制作方法，特别涉及一种楔形块上基片有序排列 制作微阶梯反射镜的方法。
技术介绍
微阶梯反射镜是一种光的反射器件，在光学系统中有着越来越广泛的应用，如光 谱分析、光束整形和光纤耦合等。随着光学系统向体积小、结构紧凑方向发展，光学系统中的器件微型化成为光学 器件的一个重要研究课题，微型光学器件设计与制作水平直接决定该光学仪器的性能。微 阶梯反射镜可以通过二元光学技术在衬底上经过多次光刻和多次腐蚀(干法或湿法)在石 英等多种材料上制备阶梯微结构，但是，这种方法存在以下缺点1、因多次套刻，水平精度 难以保证；2、腐蚀或刻蚀深度难以精确控制，精度和重复性较差；3、腐蚀或刻蚀出的反射 镜表面粗糙度难以满足光学仪器要求。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种工艺可控性强，微反射镜阶梯高度控制精度 高、反射面表面粗糙度控制精度高、重复性好的楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜 的方法。为了解决上述技术问题，本专利技术的楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方 法包括下述步骤(一 )、选用N片可加工固体材料作为微阶梯反射镜的基片，并对其进行清洗；(二)、对各本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法，其特征在于包括下述步骤：（一）、选用Ｎ片可加工固体材料作为微阶梯反射镜的基片，并对其进行清洗；（二）、对各基片的左侧面（４１）和右侧面（４２）进行研磨并抛光，使其表面粗糙度达到０．１ｎｍ～１μｍ，左侧面（４１）平行于右侧面（４２），并且各基片的厚度达到设定尺寸；然后对研磨后的各基片进行清洗处理；（三）、将Ｎ片研磨完成的基片依次叠放，使各基片的右侧面（４２）与相邻基片的左侧面（４１）共面接触，叠放后各基片的上表面（４３）共面、下表面（４４）共面；然后用固化胶将叠放后的各基片粘接固定在一起；（四）、将步骤（三）制作完成的基片置于研磨台上，研磨各基片的...

【技术特征摘要】
1. 一种楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法，其特征在于包括下述步骤(一)、选用N片可加工固体材料作为微阶梯反射镜的基片，并对其进行清洗；(二)、对各基片的左侧面和右侧面0 进行研磨并抛光，使其表面粗糙度达到 0. Inm ιμπι，左侧面平行于右侧面(42)，并且各基片的厚度达到设定尺寸；然后对 研磨后的各基片进行清洗处理；(三)、将N片研磨完成的基片依次叠放，使各基片的右侧面02)与相邻基片的左侧面(41)共面接触，叠放后各基片的上表面共面、下表面G4)共面；然后用固化胶将叠放 后的各基片粘接固定在一起；(四)、将步骤(三)制作完成的基片置于研磨台上，研磨各基片的下表面G4)使其 表面粗糙度达到0. Inm Ιμπι，并且各基片的下表面04)垂直于其左侧面和右侧面(42)；然后用去胶溶液去除固化胶，清洗各基片；(五)、选用可加工固体材料，将其研磨并抛光成楔形块(1)；所述楔形块(1)的下表面 (12)为水平面，上表面(11)为斜面，左侧面(1 和右侧面(14)为垂直面，并且楔形块(1) 的上表面(11)与右侧面(14)之间的夹角α小于90° ；楔形块(1)的上表面(11)和下表 面(12)的表面粗糙度达到0...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁中翥，梁静秋，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：82[]