微机械系统技术方案

本发明专利技术涉及一种微机械系统（１），其包括基板（１００）、悬挂装置（１３０）、基底（１４０）和微机械传感器（１５０），该悬挂装置（１３０）将该基底（１４０）可运动地支承在该基板（１００）上方，并且，该微机械传感器（１５０）被设置在该基底（１４０）上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种微机械系统。
技术介绍
微机械系统，例如微机械的换能器、惯性传感器、加速度传感器、低g加速度传感 器、转速传感器和相关的部件现在被广泛应用。因此这些系统例如用于启动车辆(KFZ)中 的安全气囊或者也用于检测计算机硬盘中的振动。在此，微机械传感器通常包括微机械地 构造的可运动的质量块，所述质量块的由于加速度、振动或运动而引起的运动被检测。此外 尤其可以持续地测量质量块和参考电极之间的电容，因为该电容与质量块到参考电极的距 离有关。此外，微机械系统由于其广泛的应用范围而苛求部分地要求高的使用环境。使用 环境包括温度波动、振动、机械应力和冲击。这些影响可能不利地作用在微机械传感器上， 并且降低其可靠性和/或使用寿命。此外，这类与实际上要检测的运动没有关系的影响(例 如车辆中的振动)在许多应用中是不可避免的。为了保护微机械系统免受这类不利的影响并且为了保持系统的可靠性，可以采取 一定的措施。在此，这类方案包括传感器的专门设计、系统壳体的专门构造，甚至还包括模 块中和/或控制装置中的措施。一般而言，这些措施增加了微机械系统的生产、安装和/或 运行中的耗费。这还可能以不利方本文档来自技高网...

【技术保护点】
微机械系统（１，２，３，４，５），包括：基板（１００）；悬挂装置（１３０，１３０１，１３０２，１３０３），基底（１４０），其中，该悬挂装置（１３０，１３０１，１３０２，１３０３）将该基底（１４０）可运动地支承在该基板（１００）上方，和微机械传感器（１５０，１５１，１５２），其特征在于，该微机械传感器（１５０，１５１，１５２）被设置在该基底（１４０）上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】DE 2007-11-2 102007052367.1微机械系统(1，2，3，4，5)，包括基板(100)；悬挂装置(130，1301，1302，1303)，基底(140)，其中，该悬挂装置(130，1301，1302，1303)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，和微机械传感器(150，151，152)，其特征在于，该微机械传感器(150，151，152)被设置在该基底(140)上。2.根据权利要求1的微机械系统，其特征在于，所述微机械传感器(150，151，152)包括 微机械的加速度传感器。3.根据权利要求2的微机械系统，其特征在于，所述微机械的加速度传感器包括可运 动的质量块(1501,1502)并且将所述质量块(1501,1502)的运动转化为电容的变化。4.根据权利要求1至3之一的微机械系统，其特征在于，第一消耗层(111)设置在所 述基板(100)上，第一功能层(121)设置在该第一消耗层(111)上，第二消耗层(112)设置 在该第一功能层(121)上并且第二功能层(122)设置在该第二消耗层(112)上，其中，该第 一功能层(121)包括所述基底(140)，而该第二功能层(122)包括所述微机械传感器(150， 151，152)。5.根据权利要求4的微机械系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：T皮尔克，A弗兰克，K克尔，
申请(专利权)人：罗伯特博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]