利用改进燃料线路的用于智能减废的方法与设备技术

本发明专利技术提供一种减少来自电子组件处理中的废液的方法，包括在一热减量工具中减量该废液以产生已减量的废液；判断该已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及根据判断结果来改变热减量工具的一个或多个操作参数。本发明专利技术提供多种其它实施例。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术有关于电子组件制造，更具体而言是关于改进燃料线路以及使用该改进燃 料线路来减少电子组件处理废液的方法和设备。
技术介绍
来自电子材料与组件制造处理中的气态废液可能包含在处理中使用及/或产生 的多种化学化合物。在处理中(例如，沉积、扩散、蚀刻、清洁、外延生长等)，某些处理可 能产生不想要的副产物，例如包含全氟化合物(perfluorocompounds，PFCs)，或是产生可 能会分解而形成PFC的副产物。PFC被认为是地球暖化的主力原因。以下，将这些化合物 和也可能伤害人体或环境的其它化合物称为“有害化学物质”，并且可能以“目标化学物质 (chemical species of interest) ”这类用语来概括。并且希望在将气态废液排放至大气 中以前，能先将气态废液中的有害化学物质移除，或者将有害化学物质转换成伤害性较小 或无害的化学物质。
技术实现思路
在某些方面中，提供一种减少来自电子组件制造处理中的废液的方法，该方法包 括在热减量工具中减少该废液以产生已减量废液、判断已减量的废液是否含有一种或多种 目标化学物质，以及根据判断结果来改变热减量工具的一个或多个操作参数。在某些方面中，提供一种减少来自电子组件制造处理中的废液的系统，该系统包 括热减量工具、传感器以及控制器；该热减量工具用以减量废液并且形成已减量的废液； 该传感器用以判断已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及，该控制器用以接收来自该传感器的信号；其中，该信号指示已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及该控制器更可依据信号来改变热减量工具的一个或多个操作参数。在某些方面中，提供一种提高电子组件制造废液热减量工具的燃料效率的方法， 该方法包括以第一流率供应燃料至热减量工具、在热减量工具中减少废液以形成已减量 的废液、判断已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质，以及根据判断结果使用第 二流率供应燃料至热减量工具。由下述详细说明、附图以及后附权利要求可更加了解本专利技术的其它特征与方面。 附图说明图1是根据本专利技术实施例，使燃料流率优化的系统示意图。图2是根据本专利技术实施例，使燃料流率优化的示例方法的流程图。图3是根据本专利技术另一实施例，使燃料流率优化的示例方法的流程图。图4是根据本专利技术又一实施例，使燃料流率优化的示例方法的流程图。图5是根据本专利技术又一实施例，使氧化剂流率优化的示例方法的流程图。具体实施例方式可利用减量(abatement)处理从电子材料与组件制造处理的废液(effluent)中 移除有害化学物质，或者将有害化学物质转换成无害或伤害性较小的化学物质。在减量过 程中，电子组件制造处理中所使用或产生的有害化学物质可能会被消灭或转换成无害或伤 害性较小的化学物质，经过减量后的废液可接受进一步处理或是排放到大气中。本文中所 使用“减少废液中的有害化学物质”和“减量废液”等用语，在工业上通常所称“减少废液 (abating effluent) ”，其意包含“减少废液中的有害化学物质”。已知，在热减量反应器中(thermal abatement reactor)可能会加热及/或氧 化该废液，进而将有害化学物质转换成无害或是伤害性较小的化学物质，来减少废液。热 反应器可能包含引导装置(Pilot device)、燃料供应装置、氧化剂供应装置、燃烧器喷嘴 (burner jet)以及废液入口。引导装置可用来点燃燃烧器喷嘴，以产生燃烧器喷射火焰。 燃烧器喷射火焰可产生用来减量废液所需要的高温。用来减量废液所需要的热能量取决于废液的性质，并且可以热反应器的温度来估 量热量。由于热减量工具可能连接到一个或多个处理室及/或处理工具，或是接收来自一 个或多个处理室及/或处理工具的废液混合物，因此，抵达热减量反应器的废液的性质可 能会随着时间改变。该些处理室和处理工具可能彼此独立运作，并且依照不同行程规划来 执行不同处理。这可能造成废液混合物的性质频繁地改变。因此，难以预测在任何特定时 间进入减量工具或热反应器中的废液性质。此种不可预测性，造成在任何不同时间点上用 来减量进入热减量反应器中的废液所需要的热量也难以预估。其中一种解决减少变化性废液混合物所需热量/燃料的不可预测性的已知方法 是，判断出所有废液减量过程中最糟糕的废液情况(例如，可能需要最多热量和燃料来进 行减量的废液或废液混合物)，并且使用足够用于最糟糕废液减量过程中的热量/燃料量。 然而实际上，此种方法可能效果不佳，因为很多种废液或废液混合物可能需要较少量的热 或燃料就能达到有效减量。因此，需要一种能提供燃料及/或氧化剂流量的动态优化方法和设备，以降低热 能/燃料的浪费。供应至减量单元中的燃料量在本文中有时称为“燃料燃烧率(fuel burn rate)” 或“燃料流率(fuel rate)，，。本专利技术提供用于减量反应室中的燃料燃烧率的动态优化方法和设备。如本文中所 使用者，燃料燃烧率的优化是指，调整燃料燃烧率以降低燃料的使用量，同时持续有效减少 在任何特定时间点进入热反应器中的废液混合物。燃料燃烧率的优化可能包括提高燃料燃 烧率以及降低燃料燃烧率的步骤，其将进一步详述如下。在本专利技术的一些实施例中，传感器可用来判断已减量的废液(例如，已 在热减量 反应器中减量)是否含有目标化学物质(例如，含有浓度高于临界浓度的目标化学物质)。 目标化学物质可能是热减量性(thermallyabatable)化学物质、燃料及/或氧化剂中的其中一者或多者。在本专利技术的一些实施例中，如果传感器判断出该已减量的废液含有临界浓度的热 减量性化学物质时，控制器可提高燃料及/或氧化剂的流量，进而提高反应室的温度。控制 器可持续提高该温度，直到传感器将已减量废液中不含临界浓度的热减量性化学物质的信 号传送给控制器为止。临界浓度(threshold concentration，或称阈限浓度)可为零、“无 法测得(undetectable)”或是选定的可侦测浓度。本领域中一般技术人员将理解如何选择 临界浓度。如本文中所使用者，临界浓度和临界含量(thresholdamount)及/或流量(flow) 等用语可互换使用。在一些实施例中，如果传感器判断出该已减量废液中含有低于临界浓度的热减量 性化学物质时，控制器可降低流至反应器室的燃料流量，进而降低反应室的温度，直到传感 器侦测且发送出已减量废液含有高于临界浓度的热减量性化学物质的信号为止。当已减 量废液中的热减量性化学物质的浓度升高至高于临界浓度时，控制器接着可提高流至反应 室的燃料流量，以及提高反应室的温度，直到传感器报告该已减量废液中的热减量性化学 物质浓度已降至低于临界浓度为止。此为一种能降低燃料用量同时持续有效减量废液的方 法。在另一实施例中，如果目标化学物质是燃料，并且传感器判断出已减量废液中含 有高于临界浓度的燃料时，控制器可适当地提高氧化剂流率或降低燃料流率，直到传感器 将已减量废液中的燃料浓度已降至低于临界浓度的信号报告给控制器为止。回到图1，本专利技术的热减量系统100可包含第一洗涤器102，第一洗涤器102与热 反应器104流体连通，而热反应器104可与第二洗涤器106流体连通。反馈控制系统107 可包含至少一个传感器108，传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减少来自电子组件制造处理中的废液废液的方法，包括：在热减量工具中减少所述废液，以形成已减量的所述废液；判断已减量的所述废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及根据判断结果来改变所述热减量工具的一个或多个操作参数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪曼罗德尼邱，丹尼尔O克拉克，肖恩W柯若弗德，杰伊J俊，优瑟夫A罗勒迪，罗伯特沃梅岚，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]