检测对于使电磁波传播的波导管的长度方向的、构成波导管的管壁的至少一部分的导电性部件的温度分布，根据其温度分布，测量波导管内产生的驻波。对于波导管长度方向的导电性部件的温度分布能够由沿着波导管的长度方向排列了多个的温度传感器、沿着波导管的长度方向移动的温度传感器、或红外线照相机正确地测量。由此能够正确地测量作为为了掌握波导管内的管内波长λｇ等而作为指标的驻波。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是涉及测量在使电磁波传播的波导管内产生的驻波的测量 部及测量方法，进一步涉及电磁波利用装置和利用了微波的等离子体 处理装置及方法。
技术介绍
在例如LCD装置等的制造工序中，使用如下的装置利用作为电磁波的微波在处理室内生成等离子体，对LCD衬底实施CVD处理和 蚀刻处理等。作为该等离子体处理装置，已知在处理室的上方平行排 列有多根波导管的装置(例如参照专利文献l、 2)。在该波导管的下 表面等间隔地并排开设有多个狭缝，进而，沿波导管的下表面设置平 板状的电介质。而且，具有将波导管内的微波通过狭缝而传播到电介 质的表面并由微波的能量(电磁场)使被供给到处理室内的规定的气 体(等离子体激励用的稀有气体和/或等离子体处理用的气体)等离子 体化的结构。专利文献l:日本专利2004-200646号公报专利文献2:日本专利2004-152876号公报
技术实现思路
在这些专利文献1、 2中，将狭缝之间的间隔设定为规定的等间隔 (大约为初始设定时的管内波长人g'的一半(XgV2)的间隔)，使得从 设于波导管的下表面的多个狭缝高效率地传播微波。但是，在波导管 内传播的微波的实际管内波长人g并非恒定，具有当在处理室内(腔体 内)的阻抗因在处理室内进行的等离子体处理的条件、例如气体种类、 压力等而变化时管内波长人g也变化的性质。因此，像专利文献l、 2 那样，在波导管的下表面以规定的等间隔形成有多个狭缝的情况下，8由于管内波长人g因等离子体处理的条件(阻抗)而变化，所以在初始 设定时的管内波长Xg'与实际的管内波长Xg之间发生偏差。其结果是， 不能使微波从多个各狭缝通过电介质而均匀地传播到处理室内。然而，管内波长人g不能从波导管的外部容易地测量。以往，知晓 以下的方法例如在方形波导管的H面(宽壁面)并在波导管长度方 向上形成狭缝，将电场探针从狭缝插入波导管内，并使之沿狭缝移动， 由此测量电场强度分布。但是，当在波导管上形成狭缝时，有微波从 这里向外部泄漏的担忧。另外，也可能由于插入电场探针而对波导管 内的电磁场分布产生不良影响。而且，在利用微波在处理室内生成等 离子体的等离子体处理装置中，在波导管H面上形成狭缝并插入电场 探针会受到装置的限制，在很多情况下不能实现。因此，在现实中难 以实现等离子体处理装置中的管内波长人g的测量。另一方面， 一般地，在波导管内，微波的入射波与反射波干涉而 产生驻波。该驻波的周期(驻波中相邻的波腹部分的间隔(或相邻的 波节部分的间隔)相同)，虽然因微波通过狭缝而进入到处理容器内 的影响或通过狭缝而进入到波导管内的反射波的影响等而变动，但可 以作为管内波长Xg的参考值，驻波的周期可以视为与作为在波导管内 传播的微波波长的管内波长人g的一半人g/2大体相等。而且，通过测量该驻波，除了管内波长之外，还能够得知频率、 驻波比、传播常数、衰减常数、相位常数等。此外，还能够得到连接 于波导管的负载的反射系数、阻抗等。因此，本专利技术的目的在于，能够正确地测量为了掌握波导管内的 管内波长人g等而作为参考值的驻波，进而，提供使微波从多个各狭缝 通过电介质而均匀地传播到处理室内的等离子体处理装置。为了解决上述课题，按照本专利技术，提供一种驻波测量部，其测量 在使电磁波传播的波导管内产生的驻波，其特征在于包括沿着所述 波导管的长度方向配置以构成所述波导管的管壁的至少一部分的导电 性部件；以及在所述波导管的长度方向的多个部位检测所述导电性部 件的温度的温度检测单元。在该驻波测量部中，可以是，所述波导管例如是方形波导管，在 所述方形波导管的窄壁面配置有所述导电性部件。并且，所述导电性部件例如是板状，当在所述波导管内传播的电磁波的角频率为co、检 测温度的所述导电性部件的磁导率为^电阻率为p时，所述导电性 部件的厚度d，满足下面的式(1)的关系。所述导电性部件例如是板状，开设有多个孔。并且，所述导电性 部件是例如由金属构成的网状物。并且，所述导电性部件例如具有将 在与所述波导管的长度方向正交的方向上延伸的多个导电部以规定的 间隔并排配置的结构。也可以包括控制所述导电性部件的周围的温度的调温机构。 也可以是，所述温度检测单元能测量所述导电性部件的周围的温 度。并且，也可以包括测量所述导电性部件的周围的温度的其它温度 检测单元。所述温度检测单元例如具有如下结构，包括检测所述导电性部 件的温度的温度传感器、对所述来自所述温度传感器的电信号进行处 理的计量电路、以及电连接所述温度传感器和所述计量电路的布线， 沿着所述导波管的长度方向排列有多个所述温度传感器。在这种情况 下，所述布线例如包括抑制经由所述布线的热传递的热传递抑制部。 并且，例如，所述温度传感器包括多个电极，所述多个电极中的至少 一个与所述波导管电气短路。并且，例如，具有在所述导电性部件上 安装有包括所述温度传感器的印刷电路板的结构。并且，例如，具有 在所述波导管的外部配置有所述温度传感器的结构。并且，例如，包 括使所述导电性部件的温度传递到所述温度传感器的热传递路径。此 外，所述温度传感器例如是热敏电阻、测温电阻体、二极管、晶体管、 温度计量用IC、热电偶、珀耳帖元件中的任意一种。所述温度检测单元例如具有使检测所述导电性部件的温度的1个 或2个以上的温度传感器沿着所述波导管的长度方向移动的结构。在 这种情况下，也可以是在所述波导管的外部配置有所述温度传感器。 并且，所述温度传感器可以是红外线温度传感器。所述温度检测单元例如是红外线照相机。本专利技术的驻波测量部，可以测量在所述波导管内传播的电磁波的 管内波长、频率、驻波比、传播常数、衰减常数、相位常数、传播模10式、入射功率、反射功率、传送功率中的任意一个，或连接于所述波 导管的负载的反射系数、阻抗中的任意一个。所述波导管的长度方向的多个部位可以是固定的，所述波导管的 长度方向的多个部位也可以是可移动的。按照本专利技术，提供一种驻波测量方法，其测量在使电磁波传播的 波导管内产生的驻波，其特征在于检测对于所述波导管的长度方向 的、构成所述波导管的管壁的至少一部分的导电性部件的温度分布， 根据所述温度分布测量驻波。此外，也可以在所述波导管内没有传播 电磁波的状态下测量导电性部件的基准温度，根据与所述基准温度的 温度差检测所述导电性部件的温度分布。按照本专利技术，提供一种驻波测量方法，其测量在使电磁波传播的 波导管内产生的驻波，其特征在于检测在构成所述波导管的管壁的 至少一部分的导电性部件中流动的电流，根据对于所述波导管的长度 方向的所述电流的分布测量驻波。以上本专利技术的驻波测量方法，可以测量在所述波导管内传播的电 磁波的管内波长、频率、驻波比、传播常数、衰减常数、相位常数、 传播模式、入射功率、反射功率、传送功率中的任意一个，或连接于 所述波导管的负载的反射系数、阻抗中的任意一个。按照本专利技术，提供一种驻波测量部，其测量在使电磁波传播的波 导管内产生的驻波，其特征在于包括沿着所述波导管的长度方向配 置以构成所述波导管的管壁的至少一部分的导电性部件；以及在所述 波导管的长度方向的多个部位检测流过所述导电性部件的电流的电流 检测单元。按照本专利技术，提供一种电磁波利用装置，包括发生电磁波的电磁 波供给源、使电磁波传播的波导管、以及本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种驻波测量部，其测量在使电磁波传播的波导管内产生的驻波，其特征在于： 包括沿着所述波导管的长度方向配置以构成所述波导管的管壁的至少一部分的导电性部件；以及在所述波导管的长度方向的多个部位检测所述导电性部件的温度的温度检测单元。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：平山昌树，大见忠弘，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，国立大学法人东北大学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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