服务器装置及程序制造方法及图纸

以往的服务器装置存在无法有选择地输出与子配方对应的选择信息的问题。本发明专利技术提供一种服务器装置，具备：测定信息保存部（１２０１），其可保存多个测定信息，该测定信息是具有由制造装置（１１）执行规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收部（１２０５），其接收测定信息的输出指示；测定信息取得部，其从测定信息保存部中取得由输出指示指定的测定信息；输出信息构成部（１２０６），其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；以及输出部，其输出输出信息构成部（１２０６）所构成的输出信息；输出指示具有指定在配方中被执行多次的子配方当中、在１个以上的期望次中被执行的子配方的指示，测定信息取得部（１２０３）取得与由输出指示指定的子配方对应的测定信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如具备对被处理基板进行规定处理的 一个以上制造装 置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置的群管理系统的服务器装 置等。
技术介绍
目前为止，已知有可以对从测定器送来的数据自动并且正确地进行加 工的半导体制造装置的群管理系统的测定数据加工方法(例如参照专利文献l)。本测定数据加工方法中，在群管理系统的群管理部的测定器通信部 中，接收测定器所送来的各种测定数据。此外，预先登记有加工所述测定 数据的计算式，在接收到所述测定数据时，将所述测定数据保存到测定数据接收緩冲器中，并且基于所述测定数据所具有的配方(recipe)名称， 从所登记的所述计算式中选择适于加工所述测定数据的至少一个具有相 同配方名称的计算式并保存到计算式保存緩冲器中，将所保存的所述测定 数据应用于所选择的所述计算式中来进行计算，将计算结果储存于加工完 毕数据保存緩冲器中。另外，以往的半导体制造装置的群管理系统具有显示由半导体制造装 置测定的时间序列的信息(以下记作图表)的功能。另外，作为构成群管理系统的制造装置，有所谓的批处理式纵型热处 理装置(参照专利文献2、专利文献3)。通常来说，在半导体制造装置中，依照被称作配方的包含制造参数等 的处理过程和表示处理务降的信息，来执行制造工艺。构成配方的序列的 各过程被称作配方步骤，或者简称为步骤。半导体制造装置的异常等可以 根据在变更了步骤之时，是否进行与该步骤的M对应的控制来判断。由 此，通过在步骤被执行的期间内，取得并监视利用测定器取得的全部测定 数据，可以知道半导体制造装置的异常等。此种半导体制造装置中，经常使用表示与配方具备相同的多个步骤的 处理过程的信息来作为构成上述配方的一个以上的步骤，该信息被称作子配方。即，通过使用子配方，配方成为在配方内包含配方的嵌套结构。通 过在构成配方的两个以上的步骤中使用此种子配方，可以在一个配方内反 复执行由子配方内的多个步骤构成的处理。通过使用此种子配方，可以改 变子配方的^等，从而具有该子配方的步骤的^被完全改变，使得配 方的设定等变得容易。专利文献l:日本特开平11-354395号公报(第一页、第一图等)专利文献2:日本专利3543996号公报(第一页、第一图等)专利文献3:日本特开2002-25997号公报(第一页、第一图等)但是，在以往的服务器装置中，有无法适当地取得使制造装置执行 子配方之时所测定的测定值的问题。即，在以往的服务器装置中，在配方包含多个相同的子配方的情况 下，当想要取得并输出含有该子配方的测定值的信息时，只能取得最先 执行子配方之时所得到的测定值。由此，无法取得执行相同的子配方所 得到的测定值当中的、例如针对第二次的子配方的测定值。其结果是， 无法自由地取得期望子配方的测定值，从而无法适当地进行使用了测定 值的制造装置的监视等。
技术实现思路
本专利技术的服务器装置是构成具有进行异常检测的功能的群管理系统 的所述服务器装置，该群管理系统具备对被处理基板进行规定处理的一 个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置，该服务 器装置具备测定信息M部，其可保存多个测定信息，该测定信息是由 所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造 装置执行了规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收 部，其接收所述测定信息的输出指示；测定信息取得部，其从所述测定信 息M部中取得由所述输出指示指定的测定信息；输出信息构成部，其构 成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及输出部，其输出所述输 出信息构成部所构成的输出信息；所述配方包含一个以上的子配方，所述 指示接收部所接收的输出指示具有以下指示，该指示指定所述配方中祐:执 行多次的子配方当中、在l个以上的期望次中执行的子配方，所述测定信 息取一浮部取得与由所述输出指示指定的子配方对应的测定信息。7利用该构成，可以通过指定子配方和该子配方的处理次(执行次数)， 而有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。这样，例如可以有选择 地输出在监视等中所需的信息，可以限定监视区间，可以有效地进行监 视等。具体来说，在某个配方中有被循环执行的子配方的情况下，可以 将要监视的对象限定为例如利用第一次执行的子配方所得到的测定值 等。另外，通过限定进行异常检测的区间，可以不进行不必要的区间的 异常检测，从而可以适当地进行异常检测。另外，本专利技术的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务 器装置中，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，所述测定信 息取得部对由所述输出指示指定的与所述被执行多次的子配方对应的 测定信息群新出现的次数进行计数，取得其计数值与由所述输出指示指 定的期望次一致的次的测定信息群中所包含的一个以上的测定信息。利用该构成，可以有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。另外，本专利技术的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务 器装置中，所述子配方包含两个以上步骤，所述测定信息取得部在与构 成子配方的两个以上步骤对应的两个以上的测定信息反复出现之时，将 该反复出现的一个以上的测定信息作为与所述被执行多次的子配方对 应的测定信息群。利用该构成，可以对子配方的处理次适当地进行计数，而从与被反 复执行的子配方对应的测定信息中，有选择地输出在期望处理次中取得 的测定信息。另外，本专利技术的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务 器装置中，所述测定信息具有作为识别该测定信息所对应的子配方的信 息的子配方标识符，与所述被执行多次的子配方对应的测定信息具有相 同的子配方标识符，对于保存于所述测定信息保存部中的测定信息，所 述测定信息取得部对由所述输出指示指定的被执行多次的子配方的子 配方标识符被新检出的次数进行计数，取得一个以上的测定信息，该一 个以上的测定信息具有其计数值与由所述输出指示指定的期望次一致 的次的子配方标识符。利用该构成，可以有选择地输出与期望子配方对应的测定信息。另外，本专利技术的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务 器装置中，所述子配方包含两个以上步骤，与所述子配方对应的测定信 息包含用于识别步骤的步骤标识符，每当在具有相同子配方标识符的连 续的测定信息中反复出现两个以上步骤标识符时，所述测定信息取得部就进行累加(count up )。利用该构成，可以对子配方的处理次进行适当计数，而从与被反复 执行的子配方对应的测定信息中，有选择地输出在期望处理次中取得的 测定信息。另外，本专利技术的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务 器装置中，所述指示接收部接收指定以下子配方的所述输出指示，该子 配方是所述配方中被执行多次的子配方当中、在2以上的期望次中被执 行的子配方，所述测定信息取得部取得与2以上的不同次的子配方对应 的测定信息，所述输出信息构成部对以下测定信息进行规定运算，构成 与其运算结果对应的输出信息，该测定信息是所述测定信息取得部所取 得的与2以上的不同次的子配方对应的测定信息当中、从各子配方内的 规定起点起的经过时间 一致的测定信息。利用该构成，可以根据目的来处理并输出子配方的不同处理次的测 定信息，从而容易进行监视等，并且可以将测定信息灵活地用于各种各 样的目的。另外，本专利技术的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种服务器装置，是构成具有进行异常检测的功能的群管理系统的服务器装置，该群管理系统具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的所述服务器装置，该服务器装置具备：　测定信息保存部，可保存多个测定信息，该测 定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定配方时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；　指示接收部，接收所述测定信息的输出指示；　测定信息取得部，从所述测定信息保存部中取得由所述输出指 示指定的测定信息；　输出信息构成部，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及　输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息；　所述配方包含一个以上子配方，　所述指示接收部所接收的输出指示具有以下指示，该指示指 定在所述配方中被执行多次的子配方当中的在１个以上的期望次中被执行的子配方，　所述测定信息取得部取得与由所述输出指示指定的子配方对应的测定信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥礼，小幡穣，小山典昭，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]