【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种同步化多个节点的方法,包括步骤:从控制器的节点,将主触发向下游发送到串联耦合的第一和第二局部节点;测量主触发(Td↓[n])在局部节点中的第一个节点(n)处的下游到达时间,并且向下游重新发送主触发到局部节点中的第二个节点(n+1);将来自局部节点中的第二个节点(n+1)的主触发向上游发送到局部节点中的第一个节点(n);测量来自局部节点中的第二个节点(n+1)的主触发(Tu↓[n])在局部节点中的第一个节点(n)处的上游到达时间,并且向上游重新发送主触发到控制器节点;和基于Td↓[n]和Tu↓[n]之间测量差值计算局部同步化时间信号(T↓[synch(n)]),由此使第一 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗尔弗朗西斯科杰勒德斯保尔斯,
申请(专利权)人:ASML荷兰有限公司,
类型:发明
国别省市:NL[荷兰]
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