用氟化组合物移除杂质的方法技术

本发明专利技术描述了一种从具有离子注入区的基材移除杂质的方法。所述方法包括：将包含氟化溶剂和共溶剂的组合物施加至所述基材，所施加的量足以有助于从所述基材移除杂质。在杂质被移除后，保留了所述基材上的金属图案或其他所需特征物。另外，用于移除杂质的所述组合物对使用者或所述基材无害（即为非易燃性的和／或非腐蚀性的）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种将杂质从具有离子注入区的基材移除的方法，所述方法包括将包含氟化溶剂和共溶剂的组合物施加至所述基材，所施加的量足以有助于从所述基材移除杂质。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：埃里克D奥尔森，菲利普G克拉克，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]