【技术实现步骤摘要】
电极探测装置
本技术涉及电学测试技术的装置，尤其涉及一种电极探测装置。技术背景在半导体行业及光电行业中，经常需要使用探针台对薄膜样品进行光电、铁 电、介电、压电或热释电等性能测试，被测薄膜样品在测试前需镀上电极，操作者通过 用探针台的测试探针接触被测薄膜样品上的电极来进行测试。由于被测薄膜样品上的电 极面积都较小，因此当电极的颜色与被测薄膜样品的颜色相近时，操作者很难准确的找 到电极，既影响测试精度，又会给测试操作带来不便。目前，能帮助操作者准确找到被测薄膜样品上的电极的方法有两种一种是利 用显微镜、CCD图像传感器和显示屏对被测薄膜样品的图像进行放大显示，操作者通过 放大的图像找出电极位置，这种方法的缺陷在于其成本较高；另外一种是利用放大镜辅 助观察，该方法虽然成本较低，但是其辅助效果有限，操作者利用该方法依然很难准确 的找到电极。
技术实现思路
针对上述现有技术中存在的缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种 电极点查找效率高，且成本低廉的电极探测装置。为了解决上述技术问题，本技术所提供的一种电极探测装置，其特征在 于，包括支撑杆、基座和透光板；所述透光板...
【技术保护点】
一种电极探测装置，其特征在于，包括支撑杆（１）、基座（２）、透光板（３）；所述透光板（３）的一条侧边为衍射边（４），透光板（３）通过其他侧边中的非衍射边固定在基座（２）上，所述支撑杆（１）的一端与基座（２）固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：田建军，孔慧，朱丽萍，沈育德，杨平雄，褚君浩，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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