【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有轴端动密封结构的干式真空泵， 包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，中间转子所在的腔为一级腔体，中间转子两侧的转子所在的腔为二级腔体，二级腔体对称分布在一级腔体的两侧，二级腔体两侧的转子所在的腔为三级腔体，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，其特征在于所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封，在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：岳向吉，巴德纯，刘坤，王光玉，张振厚，
申请(专利权)人：东北大学，中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。