微机电系统麦克风技术方案

本发明专利技术提供了一种电容性微机电系统（ＭＥＭＳ）麦克风，包括半导体衬底，半导体衬底具有通过衬底延伸的开口。麦克风具有跨过开口延伸的薄膜以及跨过开口延伸的背板。薄膜被配置为响应于声音产生信号。背板通过绝缘体与薄膜分离，背板表现出弹簧常数。麦克风还包括：后腔室，封闭开口以与薄膜形成压力腔；以及调谐结构，被配置为将背板的谐振频率设置为与薄膜的谐振频率的值实质上相同的值。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容性微机电系统ＭＥＭＳ麦克风，包括：　　半导体衬底，具有通过衬底延伸的开口；　　薄膜，跨过开口延伸，被配置为响应于声音而产生信号；　　背板，跨过开口延伸，背板通过绝缘体与薄膜分离并表现出弹簧常数；　　后腔室，封闭开口以与薄膜形成压力腔；以及　　调谐结构，被配置为将背板的谐振频率设置为与薄膜的谐振频率值实质上相同的值。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗朗茨费尔伯拉，格特兰格雷斯，雷默克亨里克斯威廉默斯皮内伯格，特温范利庞，伊丽丝博米纳西尔金斯，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL