微机电系统麦克风技术方案

技术编号:5247187 阅读:200 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种微机电系统麦克风,包括背板和与所述背板相对设置的振膜,所述背板和所述振膜均为导电材料制成。其中,所述背板与所述振膜相对的一面上附有一层完全覆盖该面的绝缘膜,所述绝缘膜上设有若干向所述振膜方向凸出的绝缘块。本发明专利技术的微机电系统麦克风可以防止振膜振动时与背板发生吸合。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电系统麦克风,包括背板和与所述背板相对设置的振膜,所述背板和所述振膜均为导电材料制成,其特征在于:所述背板与所述振膜相对的一面上附有一层完全覆盖该面的绝缘膜,所述绝缘膜上设有若干向所述振膜方向凸出的绝缘块。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张睿葛州颜毅林杨斌
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司瑞声光电科技常州有限公司
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]

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