【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电系统麦克风,包括背板和与所述背板相对设置的振膜,所述背板和所述振膜均为导电材料制成,其特征在于:所述背板与所述振膜相对的一面上附有一层完全覆盖该面的绝缘膜,所述绝缘膜上设有若干向所述振膜方向凸出的绝缘块。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张睿,葛州,颜毅林,杨斌,
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司,瑞声光电科技常州有限公司,
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]
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