借助激光辐射进行材料处理的装置和方法制造方法及图纸

在用于借助激光辐射进行材料处理的装置中，所述装置包括：激光辐射源（Ｓ），该激光辐射源发射用于与材料（５）相互作用的脉冲激光辐射（３）；光学装置（６），该光学装置将脉冲激光辐射（３）聚焦到材料（５）中的相互作用中心（７），其中激光脉冲在围绕每个分配给所述激光脉冲的相互作用中心（７）的区（８）中与材料（５）相互作用，使得材料（５）在相互作用区（８）中分离；扫描单元（１０），该扫描单元在材料（５）内调节相互作用中心的位置；和控制单元（１７），该控制单元控制扫描单元（１０）和激光辐射源（Ｓ），使得在材料（５）中通过相互作用区（８）的连续布置产生切割面（９），设计：控制单元（１７）控制激光辐射源（Ｓ）和扫描单元（１０），使得相互作用中心（７）以彼此位置间隔ａ≤１０μｍ地定位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
借助激光辐射进行材料处理的装置，所述装置包括：激光辐射源（Ｓ），所述激光辐射源发射用于与材料（５）相互作用的脉冲激光辐射（３）；光学装置（６），所述光学装置将所述脉冲激光辐射（３）聚焦到所述材料（５）中相互作用中心（７）；扫描单元（１０），所述扫描单元在所述材料（５）内调节相互作用中心的位置，其中，每个处理激光脉冲在围绕分配给它的所述相互作用中心（７）的区（８）中与所述材料（５）相互作用，使得所述材料（５）在所述相互作用区（８）中分离；和控制单元（１７），所述控制单元控制所述扫描单元（１０）和所述激光辐射源（Ｓ），使得在所述材料（５）中通过相互作用区（８）的连续布置产生切割面（９），其特征在于，所述控制单元（１７）控制所述激光辐射源（Ｓ）和所述扫描单元（１０），使得相邻的相互作用中心（７）以彼此位置间隔ａ≤１０μｍ地定位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克比朔夫，德克米尔霍夫，格雷戈尔施托布拉瓦，
申请(专利权)人：卡尔蔡司医疗技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]