【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种OLED制程中丝网型蒸发源及蒸发方法，属于显示、发光、光 电、电光转换应用领域，主要应用于器件的制备，特别涉及一种用真空蒸镀技术而制备 的大尺寸OLED制备过程中的丝网型蒸发源及蒸发方法。其优势是相对于传统的方法掩 膜版在制程中不易发生形变，从而提高器件的生产良率。
技术介绍
有机电致发光技术，由于材料广泛，发光效率高，制成的器件轻薄、省电低功 耗、自发光、响应速度快等特点，而得到长足进步和广泛应用。但是，因为目前在材料 方面主要选用的是小分子材料，对应的是真空蒸镀技术，传统的技术中所采用的布局是 从上至下依次为基板、掩膜版、蒸发源(含材料、坩埚、加热源)。小尺寸器件基本已 过关，如索尼的11英寸OLED彩色电视机已经量产，但成本较高，使得售价高达2500美 金。影响产品良率的因素有很多，但较关键的是掩膜版技术，传统方法中，掩膜版置于 基板下方，使用过程中由于重力极易发生形变，产生误差，使其良率下降。当然目前也有激光转印技术，可实现大尺寸基板制备，但尚不成熟，尤其是中 间转印体的制备技术难度大成本高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种克服或减少掩膜版形 变，提高大尺寸显示器基板的良率的OLED制备过程中的丝网型蒸发源及蒸发方法。为达到上述目的，本专利技术的丝网型蒸发源包括真空室以及置于真空室内自上而 下依次设置的热源、金属丝网坩埚、掩膜版和基板，有机或金属材料置于金属丝网坩埚 中或其上，掩膜版紧贴在基板上。本专利技术的金属丝网坩埚根据不同有机或金属材料的颗粒性状而采用不同目数和 形状的金属丝网坩埚。专利技...
【技术保护点】
一种ＯＬＥＤ制备过程中的丝网型蒸发源，其特征在于：包括真空室以及置于真空室内自上而下依次设置的热源（１）、金属丝网坩埚（３）、掩膜版（４）和基板（５），有机或金属材料（２）置于金属丝网坩埚（３）中或其上，掩膜版（４）紧贴在基板（５）上。
【技术特征摘要】
1.一种OLED制备过程中的丝网型蒸发源，其特征在于包括真空室以及置于真空 室内自上而下依次设置的热源(1)、金属丝网坩埚(3)、掩膜版(4)和基板(5)，有机或金 属材料(2)置于金属丝网坩埚(3)中或其上，掩膜版(4)紧贴在基板(5)上。2.根据权利要求1所述的OLED制备过程中的丝网型蒸发源，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：牟强，王秀峰，
申请(专利权)人：陕西科技大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]
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