放射线摄像装置制造方法及图纸

在固定基台（１０）上配线基板（１１）与（１２）具有高低差地进行配置，其上安装有各在光感应部（２１）、（３１）之上堆积有闪烁器（２５）、（３５）的放射线摄像元件（２）、（３）。放射线摄像元件（２）被配置为其载置面比放射线摄像元件（３）的放射线入射面更为突出，另外，放射线摄像元件（２）的光感应部（２１）与放射线摄像元件（３）的光感应部（３１），被接近配置为不重叠的程度。而且，放射线摄像元件（２）的光感应部（２１）延伸至放射线摄像元件（３）侧的边缘附近为止，而形成有直到该位置为大致均匀厚度的闪烁器（２５）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将放射线图像摄像的放射线摄像装置，特别是涉及用于乳房X射线摄 影的用途的大型的放射线摄像装置。
技术介绍
在医疗用、产业用的X射线摄影中，近年来，代替X射线感光薄膜，而使用放射线检 测元件的放射线影像系统被广泛利用。此种放射线影像系统并非如X射线感光薄膜般，需 要显影，可以实时地确认放射线影像等，方便性高、数据的保存性或处理的容易性等方面， 都具有优点。一般的放射线影像系统是通过闪烁器而将入射的放射线影像转换为可见光等 (包括紫外线 红外线)，通过排列为1维或2维状的光检测元件而将转换后的光影像检测 出，并作为对应影像数据的电信号而予以输出。特别是，在固体摄像元件的受光面上直接堆 积闪烁器的构造的放射线检测元件，具有其处理容易的优点。可是，固体摄像元件愈大画面化，其制造时的良率愈降低。因此，各摄像元件的大 画面化有其界限。另一方面，放射线与可见光等不同，无法通过光学系统而缩小影像，因此， 需要覆盖实像的尺寸的摄像元件。例如，在胸部的X射线摄像装置、或乳癌诊断用的乳腺摄 像装置、颚部的全景照相摄像装置等中，已知有通过将小型的摄像元件排列为瓷砖状的对 接(buttable)排列，而形成大画面的摄像元件的技术(例如，参考专利文献1)。进而，作为缩小对接排列的各摄像元件间的边界部份的无效区域的技术，还已知 有将多个检测器由放射线入射方向来看进行前后错开而配置，以使得其摄像区域不相重 叠的技术(例如，参考专利文献2)。专利文献1 日本特开平9-153606号公报专利文献2 日本特开2000-292546号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上所述，将摄像元件对接排列时，如专利文献2所记载的，在相互的边界部的无 效区域的产生会成为问题。如依据专利文献2的技术，通过配置使其摄像区域不重叠，虽可 使无效区域缩小，但是，在由放射线入射方向看被配置于前面的摄像元件所遮住的地方，放 射线会由于基板等而衰减。特别是，在医疗用的放射线摄像装置中，为了减少被验者或操作 者的暴露量，需要一面减少放射线量，一面能进行高灵敏度·高分辨率的测定的机器，此种 衰减会使所获得的影像的分辨率变差，并不优选。因此，本专利技术的课题在于提供即使以少的放射线量，也能高灵敏度·高分辨率取得大画面的放射线影像的对接排列的放射线摄像装置。解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的放射线摄像装置是，在2维排列像素而形成受光部的固体摄像元件的受光面，堆积闪烁器，其通过放射线入射而发出光，该光包括此固体摄像 元件发出包含具有灵敏度的波长光的光的，将以保护膜覆盖闪烁器而形成的放射线摄像元 件于基台上排列而配置mXn(m为2以上、η为1以上的整数)个，其特征为在邻接配置的 任意二个放射线摄像元件间，(1) 一方的放射线摄像元件在基台的固定面，比另一方的放射 线摄像元件的放射线入射面更突出于放射线入射方向，而且，(2)由放射线入射方向来看， 被配置于背面的放射线摄像元件的受光部，在不被配置于前面的放射线摄像元件所遮住的 状态下，两者接近地配置，(3)被配置于前面的放射线摄像元件的受光部，扩展至被配置于 背面的放射线摄像元件侧的周缘部，直到该周缘部形成与受光部中心部略同一厚度的闪烁ο根据本专利技术，在邻接配置于基台的放射线摄像元件间，该受光部被接近地配置。此 时，由放射线入射方向来看，被配置于背面的放射线摄像元件的受光部不被配置于前面的 放射线摄像元件所遮住，因此，即使在被配置于背面侧的放射线摄像元件中，受光部的全面 也成为有效摄像区域。另外，被配置于前面的放射线摄像元件其受光部扩展至接近被配置 于背面的放射线摄像元件侧的周缘部，因此，受光区域的边界被扩大至被配置于背面的放 射线摄像元件侧为止。而且，通过直到周缘部为止使闪烁器形成为均勻厚度，可以扩大被配 置于前面的放射线摄像元件的有效影像区域，同时，可实现区域内的摄像特性的均勻化。在邻接配置的任意的2个放射线摄像元件中，可以被配置于由放射线入射方向来 看，被配置于背面的放射线摄像元件的端部与被配置于前面的放射线摄像元件的端部重叠 的位置。由此，从放射线入射方向看，受光部被接近地配置。在邻接配置的任意二个放射线摄像元件中，在由放射线入射方向来看被配置于背 面的放射线摄像元件中，可以从被配置在前面的放射线摄像元件所遮住的端部侧的受光部 端部至外侧止堆积有闪烁器，且形成直到该受光部端部为止均勻厚度的闪烁器。在被配置于背面的放射线摄像元件中，在由被配置于前面的放射线摄像元件所遮 住的位置，也可以存在有受光部以外的部分。即可由受光部起朝外侧形成电路或保持部。而 且，如直到受光部端部为止形成有均勻厚度的闪烁器，则容易地在受光部全体使摄像特性 均勻化。专利技术的效果根据本专利技术，可不限制有效影像区域，而将各放射线摄像元件的受光部接近配置， 因此，可一面抑制无效区域的产生，一面使有效影像区域内的摄像特性均勻化。因此，通过 组合多个摄像元件，而通过对接排列来形成大画面的摄像元件，可以抑制由于摄像元件不 同所产生的影像不均或失焦，即使是少的放射线量，也可以获得高灵敏度·高分辨率的影像。由放射线入射方向来看端部重叠而配置，可使受光部更接近地配置，因而能使无 效区域变得更小。在被配置于背面的放射线摄像元件中，与被配置于前面的放射线摄像元件不同， 不需要将受光部接近周缘部附近而配置。通过将受光部设置于基板的中央附近，可以直到受光部的端部为止容易地形成均勻厚度的闪烁器，产品的良率更为提升。特别是，在将大小不同的2个放射线摄像元件邻接配置时，通过使配置于背面的放射线摄像元件大些，可以 直到受光部的端部为止容易地形成均勻厚度的闪烁器，产品的良率更为提升。附图说明图1是关于本专利技术的放射线摄像装置的由放射线入射方向所见到的正面图。图2是图1的II-II线剖面图。图3是图2的放射线摄像元件的边界部分的放大图。图4是表示在本专利技术的放射线摄像装置所使用的放射线摄像元件的制造工序的 图。图5是表示图4的工序的后续的图。图6是表示图5的工序的后续的图。图7是表示在本专利技术的放射线摄像装置中所使用的配线基板的图。图8是表示图6的工序的后续的图。图9是说明用于放射线摄像元件的载置的装置的图。图10是说明利用本专利技术的放射线摄像装置的乳房X射线摄影的图。图11是表示本专利技术的放射线摄像装置的第2实施方式的剖面构造图。图12是图11的放射线摄像元件的边界部分的放大图。图13是表示本专利技术的放射线摄像装置的第3实施方式的剖面构造图。图14是图13的放射线摄像元件的边界部分的放大图。符号的说明1 基台2、3、如放射线摄像元件5 影像传感器6 载置用装置9:被验者10:固定基台10a、10b:载置面11、12:配线基板20、30 Si 基板21、31 光感应部22,32 移位寄存器部23、33 增幅部24、34 焊盘部25、35:闪烁器26、36:保护膜60 上空间61 下空间62 真空泵70、71 平板75 放射线源90 乳房 100 放射线摄像装置111、121:贯通孔112、122:粘结件具体实施例方式以下，参考附图，对本专利技术的适当的实施方式做详细说明。为了使说明容易理解， 在各图中，对于相同的构成要素，尽可能赋予相同的参考符号，省略重复的说明。在图1 图3中表示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放射线摄像装置，在２维排列像素而形成受光部的固体摄像元件的受光面，堆积了闪烁器，在基台上排列配置ｍ×ｎ个放射线摄像元件，其中，ｍ为２以上、ｎ为１以上的整数，其特征在于，在邻接配置的任意二个放射线摄像元件间，一方的放射线摄像元件在基台的固定面，比另一方的放射线摄像元件的放射线入射面在放射线入射方向上更突出，而且，从放射线入射方向看，被配置于背面的放射线摄像元件的受光部，在不被配置于前面的放射线摄像元件所遮住的状态下，配置；从放射线入射方向看，在被配置于背面的放射线摄像元件中，从被配置于前面的放射线摄像元件所遮住的端部侧的受光部端部至外侧止，堆积有闪烁器；被配置于背面的放射线摄像元件比被配置于前面的放射线摄像元件更大。

【技术特征摘要】
JP 2004-5-11 2004-141546一种放射线摄像装置，在2维排列像素而形成受光部的固体摄像元件的受光面，堆积了闪烁器，在基台上排列配置m×n个放射线摄像元件，其中，m为2以上、n为1以上的整数，其特征在于，在邻接配置的任意二个放射线摄像元件间，一方的放射线摄像元件在基台的固定面，比另一方的放射线摄像元件的放射线入射面在放射线入射方向上更突出，而且，从放射线入射方向看，被配置于背面的放射线摄像元件的受光部，在不被配置于前面的放射线摄像元件所遮住的状态下，配置；从放射线入射方向看，在被配置于背面的放射线摄像元件中，从被配置于前面的放射线摄像元件所遮住的端部侧的受光部端部至外侧止，堆积有闪烁器；被配置于背面的放射线摄像元件比被配置于前面的放射线摄像元件更大。2.如权利要求1所述的放射线摄像装置，其特征在于， 所述基台为单一的基台。3.如权利要求1所述的放射线摄像装置，其特征在于，所述各闪烁器通过放射线入射而发出光，该光包括所述固体摄像元件具有灵敏度的波 长的光。4.如权利要求1所述的放射线摄像装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：森治通，本田真彦，久嵨竜次，藤田一树，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]