【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
自检测硅微机械电容式麦克风,包括作为电容极板的敏感膜和金属铜底板、设有声波传入通道的硅基体;所述的敏感膜的周边通过绝缘层固定在所述的硅基体上,所述的敏感膜的底面朝向所述的声波传入通道;所述的底板上分布有通气孔,所述的底板通过连接座固定在所述的硅基体上,所述的底板位于所述的敏感膜的正上方,所述的底板和所述的敏感膜之间有空气隔层;所述的连接座与所述的硅基体之间为绝缘层; 其特征在于:所述的底板由第一支板、第二支板、第三支板拼接而成,所述的第一支板和所述的第二支板之间有第一间 隙,所述的第二支板和第三支板之间有第二间隙;所述的支板分别通过连接支座固定在所述的硅基体上,所述的支板分别通过所述的连接支座与一引线端连接;所述的敏感膜上设有敏感膜引线端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:董健,计时鸣,王伟,张立彬,
申请(专利权)人:浙江工业大学,
类型:实用新型
国别省市:86[中国|杭州]
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