温湿度调节装置及温湿度调节方法制造方法及图纸

一种温湿度调节装置，能解决下述以往的温度调节装置的技术问题：能调节空气流等气体流的温度的范围较窄，不能进行湿度调节，且存在能量浪费。包括：将被压缩机（１８）压缩后的第一热介质的一部分供给到加热器（１４）的加热流路；将第一热介质的残余部分冷凝绝热膨胀冷却，然后供给到冷却器（１６）的冷却流路；以及设于加热器（１４）与冷却器（１４）之间，将规定量的水分供给到空气的喷雾嘴组（１５），是将通过加热器（１４）及冷却器（１６）的空气调节到规定温度的温湿度调节装置，在该温湿度调节装置中，设有比例三通阀（２０）、热泵装置、温度控制部（２２）及湿度控制部（２７），其中，所述比例三通阀（２０）能改变第一热介质的朝冷却流路和加热流路的分配比率，所述热泵装置能提高加热流路的加热能力，所述温度控制部（２２）控制比例三通阀（２０），调节第一热介质的分配比率，并将通过加热器（１４）和冷却器（１６）的空气控制在规定温度，所述湿度控制部（２７）控制朝喷雾嘴组（１５）供给的水量，以将通过加热器（１４）及冷却器（１６）的空气控制在规定湿度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
通常，在半导体装置的制造工序等精密加工领域中，几乎都设置于温度及湿度被 控制的无尘室内。但是，近年来，即使在精密加工领域，也不断出现要求加工精度比以往的加工精度 更高的精密加工等的工序。在上述要求较高的精密加工等的工序中，通常，要求比无尘室的温度变化更小的 温度变化的环境。因此，将要求较高的精密加工等的工序设于实施精密的温度管理的空间 单元内。作为应用于这种空间单元的温度调节的温度调节装置，例如在日本专利特开昭 51-97048号公报中记载有图13所示的温度调节装置。在图13所示的温度调节装置中，设有压缩机100、三通阀102、冷凝器104、膨胀阀 106、冷却器108及加热器110，并设有具有冷却器108的冷却流路和具有加热器110的加热流路。利用上述冷却器108和加热器110来调节从风扇112吹出的温度调节对象的空气 流的温度。在该图13所示的温度调节装置中，利用三通阀102将被压缩机100压缩后的高温 的热介质分配到冷却流路和加热流路。分配到冷却流路侧的高温的热介质被冷凝器104冷 却。该被冷却的热介质被膨胀阀106绝热膨胀而冷却，并被供给到冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种温湿度调节装置，包括：将被压缩机压缩加热的高温的第一热介质的一部分供给到加热装置的加热流路；利用冷凝装置使所述高温的第一热介质的残余部分冷却，然后利用第一膨胀装置使其绝热膨胀而进一步冷却，并将其供给到冷却装置的冷却流路；以及分配所述高温的第一热介质，将分别通过所述加热流路和冷却流路的第一热介质再供给到压缩机的循环回路，将通过所述加热装置及冷却装置的温湿度调节对象的气体调节到规定的温度及湿度，其特征在于，设有分配装置、热泵装置、温度控制部及湿度控制装置，其中，所述分配装置将从所述压缩机排出的高温的第一热介质的一部分分配到所述加热流路侧，并将所述高温的第一热介质的残余部分分配到冷却流路侧，且能...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田浩一，寺岛雅俊，小林正一，
申请(专利权)人：奥利安机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]