具有多个活性区的表面发射半导体激光器制造技术

说明有一种表面发射半导体激光器，具有：半导体本体（１），其具有至少两个用于发射激光辐射（１３）的活性区（２），所述活性区（２）通过隧道结（３）彼此连接；以及被布置在所述半导体本体（１）之外的用于构造激光谐振腔的外谐振腔镜（１１），其中在所述激光谐振腔中布置有至少一个偏振选择性元件（４）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及以一种根据权利要求1的前序部分具有多个活性区的表面发射半导 体激光器。本专利申请要求德国专利申请10 2008 030 818. 8的优先权，该德国专利申请的 公开内容通过引用结合于此。
技术介绍
从文献DE 102006010728 Al中公知有一种表面发射半导体激光器，其包括具有多 个适于生成辐射的彼此间隔布置的活性区域的半导体本体，其中在两个活性区域之间，隧 道结被单片地集成在半导体本体中，并且这两个活性区域借助于该隧道结以导电的方式相 连接。通过这种方式，可以利用紧凑的半导体本体来实现高的辐射功率。该半导体激光器 具有外谐振腔镜，其中在半导体本体与外谐振腔镜之间构造的外谐振腔中尤其是可以布置 用于对由该半导体激光器所发射的辐射进行频率转换的频率转换元件。在这样的表面发射 半导体激光器的情况下的射束形成通常通过弯曲外谐振腔镜来进行。由表面发射半导体激光器所发射的激光辐射一般不具有限定的偏振方向。对于许 多应用而言所期望的是，能够使用一种紧凑的半导体激光器，该半导体激光器除了具有高 输出功率和良好的射束形状之外还具有限定的偏振。
技术实现思路
本专利技术所基于的任务是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面发射半导体激光器，具有：半导体本体（１），所述半导体本体（１）具有至少两个用于发射激光辐射（１３）的活性区（２），所述活性区（２）通过隧道结（３）彼此连接；以及布置在所述半导体本体（１）之外的用于构造激光谐振腔的外谐振腔镜（１１），其特征在于，在所述激光谐振腔中布置有至少一个偏振选择性元件（４）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P布里克，M米勒，
申请(专利权)人：奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]