表面声波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种难以产生立体布线部中的布线的断线，可靠性优良的表面声波装置。表面声波装置（１），在压电基板（２）上形成多个表面声波元件（Ｆ１～Ｆ４、Ｒ１、Ｒ２），在压电基板（２）上按照包围包含ＩＤＴ电极（１１～１３）等电极的振动部的方式形成支持构件（４），按照覆盖支持构件（４）的开口部的方式层叠盖构件，形成振动电极所面对的中空空间，并且，在压电基板（２）上形成隔着绝缘层（５３）层叠有第一布线（５１）及第二布线（５２）的立体布线部（Ｂ），在立体布线部（Ｂ）中，按照包围立体布线部的方式设置支持构件（４），由此在由压电基板（２）、支持构件（４）、和盖构件包围的空间内配置立体布线部（Ｂ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种表面声波装置，包括多个表面声波元件和多根布线，其中，上述多个表面声波元件具有：压电基板，其具有彼此相对的第一、第二主面；电极，其形成在上述压电基板的上述第一主面上，用于激发表面声波；电极焊盘，其形成在上述压电基板的第一主面上，与上述电极电连接；支持构件，其按照包围上述振动部的周围的方式形成在上述压电基板的第一主面上，并且比上述电极更厚；以及盖构件，其按照覆盖上述振动部的方式设置在上述支持构件上，并且形成有上述振动部的电极所面对的中空的空间，上述多根布线电连接上述多个表面声波元件，上述多根布线具有第一布线、和配置在该第一布线更上方且与第一布线立体交叉的第二布线，在上述第一、第二布线立体交叉的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：表良一，高田忠彦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]