【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种设备，用于将燃料引入电子装置制造排出物减排工具，包括：歧管；燃料源，其适于将燃料通过燃料管道供应至所述歧管；和多个喷嘴，其适于从所述歧管接收燃料；其中，所述歧管适于将燃料以高于火焰速度的燃料速度供应至所述喷嘴。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔O克拉克，艾伦G福克斯，罗伯特M沃梅岚，肖恩W柯若弗德，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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