【技术实现步骤摘要】
本专利技术设计半导体激光器的光束准直领域，尤其涉及均勻度与平行度好、需要 自适应同轴调节以及能量转换效率高的闪耀光栅外腔半导体激光器的准直。
技术介绍
单管半导体激光器输出光束在空间中是呈现发散的椭圆分布，在很多应用领域 中，都需要将输出的光束进行整形，使其成为均勻圆形平行光束。半导体激光器的腔长 短，所以本征线宽较宽，很容易造成模式不稳定，严重影响了输出激光的光谱特性。作 为改进方法，在半导体激光器的谐振腔外在加一个反馈元件(闪耀光栅)，形成外腔，将 部分输出光反馈回有源区进行耦合。这种外腔结构可以成倍地加大有效腔长，从而大幅 度压窄线宽。但是，激光器发出的光需要先进行准直，然后入射到闪耀光栅。一般常仅 采用非球面透镜或正透镜与双胶合弯月透镜构成准直系统直接进行准直。但是，激光发 出的光进过这些准直系统准直后，光强度的均勻性不高，仍然无法解决光强均勻性的问 题。而且激光器与准直透镜的同轴性调节很困难，该准直系统不稳定。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术主要在于提供一种闪耀光栅半导体激光器中的准直方法，以 使发射光强度进行均勻化、平行化处理，同时由于采用的准直系统...
【技术保护点】
一种闪耀光栅外腔半导体激光器，包括：一激光器；一准直系统，该准直系统的输入端与激光器的输出端连接；一闪耀光栅，该闪耀光栅接收准直系统发出的均匀平行光，经闪耀光栅的反射，形成１级衍射光和０级光，将１级衍射光沿入射光路反馈至准直系统，将０级光输出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何春九，曾华林，何军，周燕，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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