本发明专利技术提供一种用于形成充分兼具低烧结温度、耐溶剂性、绝缘性的绝缘膜的绝缘性油墨组合物。本发明专利技术还提供一种利用印刷法可形成高集成有机晶体管的形成所必须的微细绝缘膜图形的绝缘膜形成用油墨组合物。本发明专利技术的绝缘膜形成用油墨组合物含有有机溶剂、聚乙烯基酚系树脂、环氧树脂以及交联助剂。特别是涉及如下的绝缘膜形成用油墨组合物：有机溶剂是一种包括２０℃时的蒸气压为１１．３×１０２Ｐａ以上且大气压下的沸点不足１１５℃的有机溶剂和２０℃时的蒸气压不足１１．３×１０２Ｐａ且大气压下的沸点为１１５℃以上的有机溶剂的溶剂，含有体积平均粒径为１～１５０ｎｍ的体质成分和有机硅系脱模剂成分。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种适用于电子元件的制造的绝缘膜形成用油墨组合物以及由该油 墨组合物形成的绝缘膜。
技术介绍
晶体管作为构成电视机和计算机的重要电子元件(电子部件)被广泛应用，当前 以硅等无机物为主材料被制造。近年来，在这种晶体管的部件中使用有机物的有机晶体管 (OFET)引人注目(参考非专利文献1)。OFET不仅柔软有韧性，而且若从每单位面积来考虑 还具有能够以低廉的原材料来进行制备的优点，可以认为是泛网(ubiquitous)时代的必 须品，即，实现柔韧且低成本终端所不可或缺的构成要素。OFET是以三个电极、绝缘层以及半导体层作为必须部件的电子元件。图1显示了 元件构造的一个例子。在图中号码3所示的该栅极绝缘层(GI)的形成法中，有印刷法等湿 式工艺和真空蒸镀或溅射等干式工艺，若考虑价格低廉化则优选湿式工艺(参考非专利文 献2)。一方面，湿式工艺通常需要在制膜后经过过热(烧结)过程。而将耐热温度低的柔 韧材料用于基板时，要求该过热(烧结)过程以更低温度来进行。例如，将聚萘二甲酸乙二 醇酯(PEN)用于基材时，要求150°C以下的烧结温度。另外，作为湿式工艺适用印刷法时，有 时要求绝缘膜形成用油墨具有能够应对形成微细图形的优异的印刷特性。另一方面，在GI本身所要求的诸多特性中，有与元件制造工艺相关的特性和与元 件电特性(FET特性)相关的特性。前者包括不溶于GI上层的有机半导体层所使用的溶 剂的特性，即耐溶剂性。而就后者而言，薄膜状态下的绝缘性越高(泄露电流小)，表面平滑 度越高，则越能提高元件特性。作为绝缘膜形成用材料，例如，已知以聚酰亚胺系材料作为 固化剂的聚乙烯基酚系材料(I)(参考非专利文献3)。另外，已知以三聚氰胺系树脂作为固 化剂的聚乙烯基酚系材料(参考非专利文献4)。但是，这种材料需要200°C左右的高温烧结，通常适用于以玻璃素材作为基板来使 用的情况，很难适用于以柔软性作为特征且耐热温度低的塑料基材。为了省去高温烧结工 序，聚甲基丙烯酸甲酯系和聚苯乙烯系所代表的热塑性树脂(II)也为已知(参考非专利文 献5)。但是，热塑性树脂耐溶剂性低劣，用印刷法在其上层层压导电性层、半导体层等十分 困难，需要蒸镀等设备的干式工艺工序成为必要。另外，固体或者液体的双酚型通用环氧 树脂(III)也为已知(参考非专利文献6)。但是，已知由该材料所形成的绝缘膜的泄露电 流大。专利文献1公开了一种含有硅烷偶联剂和环氧树脂的绝缘材料(参考专利文献1)。 另外，专利文献2公开了一种利用凸版反转印刷法的电路元件的制造方法，但是并没有低 温烧结的相关记载(参考专利文献幻。因此，没有一种为了在具有柔软性的基材上设置绝 缘膜来形成电子元件而充分兼具烧结温度、耐溶剂性、绝缘性的绝缘膜形成用油墨技术。进 而，现状是尚没有充分兼具精密图形形成功能的绝缘膜形成用油墨技术。先行技术文献专利文献专利文献1 日本特开2007-305950号公报专利文献2 日本特开2007-273712号公报非专利文献非专利文献1:7 F > % V r ‘) 7 H 乂 (Advanced Materials)(《先进材 14))) 2002 年第 14 号，P. 99非专利文献2 夕S 7卜丨J 一才歹丨J 7卟文.(Chemistry of Materials)(《材 料化学》)2004年第16号，P. 4543非专利文献3 7 7° 7 卜·、7 4 夕夕夕 7 > 夕一文(Applied Physics Letters) (《应用物理快报》)1998年第72号，P. 2716非专利文献4 夕弋一于卟才 7. 了 7°，4 F 7 4 ” ”卞(Journal of Applied Physics)(《应用物理学杂志》)2002年第92号，P. 5259非专利文献5 寸 ^ 工 > 7 (Science) 2007 年第 318 号，P. 76非专利文献6 夕弋”二一文夕弋一于卟才7.· 7 y V' ν λ F 7 λ ”、”、 (Japanese Journal of Applied Physics)(《日本应用物理学杂志》)2003年第42号， P. L52
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的第一课题在于提供一种用于形成充分兼具烧结温度、耐溶剂性、绝缘性 的绝缘膜的绝缘性油墨组合物。第二课题在于提供一种利用印刷法可形成高集成有机晶体 管的形成所必须的微细绝缘膜图形的绝缘膜形成用油墨组合物，而第三课题在于提供一种 由该油墨组合物所形成的绝缘性膜。解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的第一技术方案是，提供一种绝缘膜形成用油墨组合 物，其特征在于，作为必须成分含有有机溶剂、聚乙烯基酚系树脂、环氧树脂以及交联助剂。 本专利技术第二技术方案是，提供一种能够形成更微细的绝缘膜图形的绝缘膜形成用油墨组合 物，，其中，上述有机溶剂是包含了 20°C时的蒸气压为11.3X102Pa以上且大气压下的沸点 不足115°C的有机溶剂和20°C时的蒸气压不足11. 3 X IO2Pa且大气压下的沸点为115°C以 上的有机溶剂的溶剂，含有体积平均粒径为1 150nm的体质成分和有机硅系脱模成分， 25°C时的油墨的表面张力为17 30mN/m，油墨的粘度为0. 5 30mPa · s。第三技术方案 是，提供一种由上述绝缘膜形成用油墨组合物所形成的绝缘膜。专利技术效果通过使用本专利技术的绝缘膜形成用油墨组合物，能够获得在100 140°C的烧结温 度下作为绝缘膜的优异的特性，并能在PEN等柔软性基材上形成绝缘膜。进而，由于形成的 绝缘膜具有耐溶剂性，利用印刷法可在其上层层压导电层、半导体层等其他的层。另外，泄 露电流也很小，能使该绝缘膜作为有机场效应晶体管(OFET)等的栅极绝缘膜而适用。附图说明图1是示意地表示使用了本专利技术的绝缘膜的电子元件的一个例子的概略构成图。具体实施例方式本专利技术的绝缘膜形成用油墨组合物是一种含有有机溶剂、聚乙烯基酚系树脂、环 氧树脂以及交联助剂作为必须成分的绝缘膜形成用油墨组合物。作为本专利技术的绝缘膜形成用油墨组合物中使用的有机溶剂，只要是能够溶解上述 聚乙烯基酚系树脂，可以使用任意的溶剂，例如有戊烷、己烷、庚烷、辛烷、癸烷、十二烷、异 戊烷、异己烷、异辛烷、环己烷、甲基环己烷、环戊烷等脂肪族烃系有机溶剂，苯、甲苯、邻二 甲苯、间二甲苯、对二甲苯、乙苯、均三甲苯、萘、环己基苯、二乙基苯等芳香族烃系溶剂，甲 酸甲酯、甲酸乙酯、甲酸丙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丁酯、 乙酸正丁酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯等酯系溶剂，甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、仲丁醇、叔丁醇、环 己醇、α -松油醇等醇系溶剂，丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、2-己酮、2-庚酮、 2-辛酮、四氢呋喃等酮系溶剂，碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等碳酸酯系，二乙二醇乙基醚、二乙 二醇二乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、丙二 醇单甲基醚乙酸酯、二乙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇乙基醚乙酸酯、二乙二醇丙基醚乙酸 酯、二乙二醇异丙基醚乙酸酯、二乙二醇丁基醚乙酸酯、二乙二醇叔丁基醚乙酸酯、三乙二 醇甲基醚乙酸酯、三乙二醇乙本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种绝缘膜形成用油墨组合物，其特征在于，含有有机溶剂、聚乙烯基酚系树脂、环氧树脂以及交联助剂。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：高武正义，饵取秀树，海老根俊裕，五十住宏，笠井正纪，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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