弹性波装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使用焊锡凸块安装时，焊剂能不流入中空空间的内部的弹性波装置。包括：（ａ）衬底１１；（ｂ）形成在衬底１１的一方主面１１ａ上的振动部１４；（ｃ）形成在衬底的一方主面１１ａ上，与振动部１４的电极１２电连接的焊盘１３；（ｄ）包围振动部１４的周围地设置在衬底１１的一方主面１１ａ上的支撑层２０；（ｅ）设置在支撑层２０之上，在振动部１４的周围形成中空空间１９的由包含合成橡胶的树脂构成的薄板状封盖层２２；（ｆ）设置在封盖层２２的与支撑层２０相反一侧，由具有焊剂耐性的树脂构成的保护层２４；（ｇ）贯通保护层２４、封盖层２２和支撑层２０，连接在焊盘１３上的贯通导体１６；（ｈ）设置在贯通导体１６的保护层２４一侧的端部，由焊锡凸块构成的外部电极１８。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种弹性波装置，其特征在于，包括：衬底；振动部，其形成在所述衬底的一方主面上；焊盘，其形成在所述衬底的一方主面上，且与所述振动部的电极电连接；支撑层，其以包围所述振动部的周围的方式设置在所述衬底的所述一方主面上，具有比所述振动部的厚度更大的厚度；封盖层，其以覆盖所述振动部的方式设置在所述支撑层之上，在所述振动部的周围形成中空空间，由包含合成橡胶的树脂构成，且为薄板状；保护层，其设置在所述封盖层的与所述支撑层相反一侧，由具有耐焊剂性的树脂构成；贯通导体，其贯通所述保护层、所述封盖层和所述支撑层，且与所述焊盘连接；外部电极，其设置在所述贯通导体的所述保护层侧的端部，由焊锡凸块构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高田忠彦，角井笃，工藤敬实，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]