【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到生产真空镀膜玻璃用的镀膜工艺室的结构。
技术介绍
镀膜工艺室的结构是真空镀膜玻璃生产线中的主工艺室。如图3所示，目前所使 用的镀膜工艺室的结构包括镀膜室1及设置在镀膜室中的隔板2，每个隔板2上均设置有玻 璃通道3，隔板2将镀膜室1分割成多个腔室4。每个腔室4上都设置有与盖板相配合的盖 板安装孔7。按照真空镀膜玻璃的工艺要求，将腔室分为真空泵腔室和靶材腔室，真空泵和 靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内，其中靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间。 因为不同膜系真空镀膜玻璃生产线对真空泵腔室和靶材腔室的排布要求不同，所以绝大多 数不同膜系真空镀膜玻璃不能共用一条生产线。例如如图1所示，图1为单银Low-E镀银 膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图。如图2所示，图2为 双银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃生产线中真空泵腔室和靶材腔室的排布示意图。如果 企业原来生产单银Low-E镀银膜系的真空镀膜玻璃，而现在需要生产双银Low-E镀银膜系 的真空镀膜玻璃时，就需要重新购买所需真空镀膜玻璃生产线，或者将原生产线中镀膜工 艺室中的隔板拆除，...
【技术保护点】
镀膜工艺室的结构，包括镀膜室及设置在镀膜室内的隔板，隔板上设置有玻璃通道，其特征在于：所述隔板将镀膜室分割成若干个大小相等的腔室，每个腔室上都设置有盖板安装孔，隔板上设置有若干个通气孔。
【技术特征摘要】
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