一种光致产酸剂的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种光致产酸剂的制备方法，属于光致产酸剂制备技术领域，包括包括以下步骤：S1、中间体合成；S2、光致产酸剂混合；S3、光致产酸剂反应；S4、光致产酸剂分离；S5、光致产酸剂二次反应；S6、光致产酸剂纯化。该光致产酸剂的制备方法，通过以廉价原料替代传统工艺中的贵金属催化剂和稀有试剂，单批次原料成本降低30％，同时避免具体有害试剂的使用，符合绿色化学发展需求，达到了生产成本低和环保效果好的优点；通过将关键合成步骤的温度从传统高温降至优化温度，压力从高压改为常压，能耗降低50％，且能够有效消除高温高压设备的安全隐患，适合大规模工业化生产，达到了纯化效率高和环保效果好的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光致产酸剂制备，具体为一种光致产酸剂的制备方法。

技术介绍

1、光致产酸剂是一类在光、射线、等离子体等辐射下能分解生成特定酸的化合物。这些生成的酸能够催化酸敏树脂发生分解或交联反应，从而使光照部分与非光照部分的溶解性产生差异，经过显影处理后形成影像。作为光刻胶的核心组成部分，光致产酸剂在光刻技术中发挥着至关重要的作用，尤其是在紫外区光刻过程中，其性能直接影响着光刻胶的分辨率、灵敏度和图形质量。

2、随着半导体工业的快速发展，对光刻技术的要求日益提高。光致产酸剂作为光刻胶中的关键添加剂，其性能的优化和改进对于提高光刻胶的整体性能具有重要意义。目前，光致产酸剂已广泛应用于半导体制造、电子化学、生物医学等多个领域，成为这些领域中不可或缺的关键材料。

3、然而，现有的光致产酸剂制备方法仍存在一些局限性。例如，某些制备方法可能涉及高温高压等极端条件，增加了生产的安全风险；或者制备过程中使用的试剂可能对环境造成污染，不符合绿色化学的发展趋势。此外，随着光刻技术的不断进步，对光致产酸剂的性能要求也越来越高，如更高的产酸效率、更好的热本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述S1中的中间体合成包括以下步骤：

3.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述S2中的有机溶剂为乙腈。

4.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述S3中的回流温度为85℃，所述S3中的反应时间为6小时。

5.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述S4中的有机溶剂为乙酸乙酯。

6.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所...

【技术特征摘要】

1.一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述s1中的中间体合成包括以下步骤：

3.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述s2中的有机溶剂为乙腈。

4.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述s3中的回流温度为85℃，所述s3中的反应时间为6小时。

5.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于：所述s4中的有机溶剂为乙酸乙酯。

6.根据权利要求1所述的一种光致产酸剂的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：乐小勇，严梓杨，陈子龙，
申请(专利权)人：湖北乐仕电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：