半导体器件制造技术

技术编号:46625183 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-14 21:21
一种半导体器件,其可以包括:第一沟道,其位于衬底的第一区域上;第一栅极结构,其围绕第一沟道的一部分;位线,其位于第一沟道的第一侧并且电连接到第一沟道;电容器,其位于第一沟道的第二侧并且电连接到第一沟道;第二沟道,其位于衬底的第二区域上;第二栅极结构,其围绕第二沟道的一部分;第一源极/漏极图案,其位于第二沟道的第一侧并且电连接到第二沟道;和第二源极/漏极图案,其位于第二沟道的第二侧并且电连接到第二沟道。第一沟道和第二沟道的距衬底的上表面的高度可以彼此相等。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术构思的示例实施例涉及一种半导体器件。更具体地,本专利技术构思的示例实施例涉及三维(3d)存储器件。


技术介绍

1、dram器件可以包括字线、位线、沟道和电容器。为了增加dram器件的集成度,更有效地布置字线、位线、沟道和/或电容器可能是有利的。


技术实现思路

1、本专利技术构思的示例实施例提供了一种具有改进的和/或增强的电特性的半导体器件。

2、根据本专利技术构思的一些示例实施例,一种半导体器件可以包括:衬底,所述衬底包括第一区域和第二区域;第一沟道,所述第一沟道位于所述衬底的第一区域上;第一栅极结构,所述第一栅极结构围绕所述第一沟道的一部分;位线,所述位线位于所述第一沟道的第一侧,所述位线电连接到所述第一沟道;电容器,所述电容器位于所述第一沟道的第二侧,所述电容器电连接到所述第一沟道;第二沟道,所述第二沟道位于所述衬底的所述第二区域上;第二栅极结构,所述第二栅极结构围绕所述第二沟道的一部分;第一源极/漏极图案,所述第一源极/漏极图案位于所述第二沟道的第一侧,所述第一源极/漏极图案电连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体器件,所述半导体器件包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述位线中的材料与所述第一源极/漏极图案中的材料和所述第二源极/漏极图案中的材料相同。

3. 根据权利要求2所述的半导体器件,其中,所述位线、所述第一源极/漏极图案和所述第二源极/漏极图案包括掺杂有n型杂质的多晶硅。

4. 根据权利要求1所述的半导体器件,其中

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述第一栅极结构包括:

6.根据权利要求5所述的半导体器件,其中,所述位线接触所述第一栅极绝缘图案和所述第一栅极掩模。

7.根据权利要...

【技术特征摘要】

1.一种半导体器件,所述半导体器件包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述位线中的材料与所述第一源极/漏极图案中的材料和所述第二源极/漏极图案中的材料相同。

3. 根据权利要求2所述的半导体器件,其中,所述位线、所述第一源极/漏极图案和所述第二源极/漏极图案包括掺杂有n型杂质的多晶硅。

4. 根据权利要求1所述的半导体器件,其中

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述第一栅极结构包括:

6.根据权利要求5所述的半导体器件,其中,所述位线接触所述第一栅极绝缘图案和所述第一栅极掩模。

7.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述第二栅极结构包括:

8.根据权利要求7所述的半导体器件,其中,所述第一源极/漏极图案接触所述第二栅极绝缘图案和所述第二栅极掩模。

9. 根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述第一栅极结构的距所述衬底的上...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪成彬韩珍优
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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