【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加热设备，尤其涉及一种用于真空环境下的右加热器装置。
技术介绍
1、在工艺腔室的应用场景中，加热器组件的设计扮演着举足轻重的角色，它直接关联到工艺过程的稳定性以及最终产品的品质。然而，传统的加热器组件在设计上往往存在诸多局限，如温度控制精度不足、材料耐腐蚀性差以及使用寿命相对较短等，这些问题严重制约了其在高精度工艺腔室中的应用效果。
2、具体而言，温度控制精度不高可能导致工艺过程中的温度波动，进而影响产品的质量和稳定性；材料耐腐蚀性差则可能使加热器组件在恶劣的工艺环境中迅速损坏，缩短使用寿命；而使用寿命短则意味着频繁的更换和维修，不仅增加了运营成本，还可能对工艺过程的连续性造成干扰。
技术实现思路
1、为解决上述现有技术存在的一些问题，本技术提供一种用于真空环境下的右加热器装置，以解决现有技术中存在的不足。
2、为达上述目的，本技术提供一种用于真空环境下的右加热器装置，包括右加热器装置本体，所述右加热器装置本体包括至少一个加热器元件，所述加热器元件配合设置...
【技术保护点】
1.一种用于真空环境下的右加热器装置，包括右加热器装置本体，其特征在于，所述右加热器装置本体包括至少一个加热器元件（1），所述加热器元件（1）配合设置有温区结构（2），所述温区结构（2）分为第一温区单元（3）及第二温区单元（4），该加热器元件（1）与温区结构（2）配合设置有支撑结构（5），所述右加热器装置本体配合加热器元件（1）设置有波纹板（6）及法兰组件（7）；
2.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的右加热器装置，其特征在于，所述第一温区单元（3）的A1、A2区域各3.2kw，所述第二温区单元（4）的B1、B2、B3各2kw。
3.根据...
【技术特征摘要】
1.一种用于真空环境下的右加热器装置，包括右加热器装置本体，其特征在于，所述右加热器装置本体包括至少一个加热器元件（1），所述加热器元件（1）配合设置有温区结构（2），所述温区结构（2）分为第一温区单元（3）及第二温区单元（4），该加热器元件（1）与温区结构（2）配合设置有支撑结构（5），所述右加热器装置本体配合加热器元件（1）设置有波纹板（6）及法兰组件（7）；
2.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的右加热器装置，其特征在于，所述第一温区单元（3）的a1、a2区域各3.2kw，所述第二温区单元（4）的b1、b2、b3各2kw。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的右加热器装置，其特征在于，所述支撑结构（5）包括底板（9...
【专利技术属性】
技术研发人员：马尚忠，
申请(专利权)人：江苏欧展科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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