一种尾气处理反应腔制造技术

本技术公开了一种尾气处理反应腔，包括反应腔主体，所述反应腔主体包括下腔室和上腔室，所述下腔室与上腔室之间设置有气旋法兰和水幕法兰，所述气旋法兰包括第一法兰主体和第一挡圈，所述第一法兰主体的内部开设有气道，所述第一法兰主体的内圈上开设有出气口，所述水幕法兰包括第二法兰主体和第二挡圈，所述第二法兰主体的内部开设有流道，所述第二法兰主体与第二挡圈之间形成流体腔室和溢流出水槽。本技术通过气旋法兰向反应腔内部通入用于与尾气反应的反应气，通过水幕法兰向反应腔内部通入水体，反应腔的腔室内壁上形成均匀的环形水幕，对腔室内壁进行冲洗，避免尾气反应产生的粉尘粘附在腔室的内壁上，防止反应腔堵塞。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及尾气处理，具体为一种尾气处理反应腔。

技术介绍

1、在半导体、太阳能光伏、平板显示和led为代表相关产品的生产过程中，会产生大量的尾气，必须将这些有害气体无害化处理后才能排放到环境中去。在泛半导体行业中，对于尾气(例如，含硅元素的气体、全氟化合物气体和氢气)的无害化处理方法是将气体通入依次连接的热分解腔和反应腔内，有害气体在高温下与氧气进行反应，进行无害化处理。

2、通常采用旋流法兰向反应腔中提供用于与尾气反应的反应气(例如，氧气或压缩反应气)。但是，由于旋流法兰产生的旋流反应气通常会沿着反应腔的内壁旋流，使得反应气与尾气的氧化反应主要集中在反应腔的内壁处进行，导致产生的粉尘颗粒堆积在反应腔的内壁。由于流体旋转法兰的出水口数量有限，会存在水膜在反应腔内壁覆盖不均匀的问题。

3、因此，需要设计一种尾气处理反应腔，来解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种尾气处理反应腔，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种尾气处理反应腔，包括反应腔主体(1)，其特征在于：所述反应腔主体(1)包括下腔室(11)和上腔室(12)，所述下腔室(11)与上腔室(12)之间设置有气旋法兰(2)和水幕法兰(3)，所述气旋法兰(2)包括第一法兰主体(21)和第一挡圈(22)，所述第一法兰主体(21)的内部开设有气道(24)，所述第一法兰主体(21)的内圈上开设有出气口(26)，所述水幕法兰(3)包括第二法兰主体(31)和第二挡圈(32)，所述第二法兰主体(31)的内部开设有流道(34)，所述第二法兰主体(31)与第二挡圈(32)之间形成流体腔室(35)和溢流出水槽(36)。

2.根据权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种尾气处理反应腔，包括反应腔主体(1)，其特征在于：所述反应腔主体(1)包括下腔室(11)和上腔室(12)，所述下腔室(11)与上腔室(12)之间设置有气旋法兰(2)和水幕法兰(3)，所述气旋法兰(2)包括第一法兰主体(21)和第一挡圈(22)，所述第一法兰主体(21)的内部开设有气道(24)，所述第一法兰主体(21)的内圈上开设有出气口(26)，所述水幕法兰(3)包括第二法兰主体(31)和第二挡圈(32)，所述第二法兰主体(31)的内部开设有流道(34)，所述第二法兰主体(31)与第二挡圈(32)之间形成流体腔室(35)和溢流出水槽(36)。

2.根据权利要求1所述的一种尾气处理反应腔，其特征在于：所述气旋法兰(2)位于水幕法兰(3)的上端，所述气旋法兰(2)连接上腔室(12)，所述水幕法兰(3)连接下腔室(11)。

3.根据权利要求1所述的一种尾气处理反应腔，其特征在于：所述第一法兰主体(21)的外圈上开设有进气口(23)，所述进气口(23)连通气道(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：马腾，朱晶，
申请(专利权)人：昆山朗迅环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：