【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光加工领域，具体涉及一种用于加工工件内壁的超快激光装置及其方法。
技术介绍
1、超快激光具有脉宽极短、峰值功率极高、热效应极小等特点，在轻质合金、陶瓷、玻璃、复合材料等多类材料的精密去除加工中有显著的优势，能够取得较好的加工效果。由于许多工件也需要在其内壁进行各种微孔、倒椎孔等结构的加工，因而超快激光也广泛用于加工工件的内壁。如在工件内壁加工超疏水微结构、同心筒工件中内筒的微孔加工以及对筒体内壁进行倒锥孔加工等。
2、现有的超快激光加工装置中通常采用“振镜+场镜”加工和“聚焦物镜+运动平台”加工两种加工方式。因“振镜+场镜加工”的加工方式，具有加工精度高，加工速度快、稳定性高等特点，其更加广泛的应用于超快激光加工中。该种加工方式中，振镜是由内部的两个反射镜片通过转动实现激光光束在x-y方向的移动，而场镜则负责将激光光束聚焦在工件表面，以实现轨迹加工。现有专利cn104625424b和cn113458588b虽公开了一种对于工件内壁进行加工的装置，但由于其采用聚焦物镜的加工方式，需额外的运动平台配合，才可使激光...
【技术保护点】
1.一种用于加工工件内壁的超快激光装置，包括超快激光器、激光调制组件和激光控制组件；其特征在于，所述激光控制组件设于所述激光调制组件后，其用于控制作用于工件内壁的加工激光束，以实现对工件异形内壁和/或对工件内壁进行三维图形的加工；所述激光控制组件包括动态聚焦组件和激光束运动控制组件；所述动态聚焦组件用于动态调整所述加工激光束的焦点位置；所述激光束运动控制组件用于使所述加工激光束按设定轨迹运动，并使所述加工激光束以特定的加工角度对工件内壁进行加工。
2.如权利要求1所述的超快激光装置，其特征在于，所述动态聚焦组件包括动态聚焦轴和场镜；所述动态聚焦轴用于调整所...
【技术特征摘要】
1.一种用于加工工件内壁的超快激光装置，包括超快激光器、激光调制组件和激光控制组件；其特征在于，所述激光控制组件设于所述激光调制组件后，其用于控制作用于工件内壁的加工激光束，以实现对工件异形内壁和/或对工件内壁进行三维图形的加工；所述激光控制组件包括动态聚焦组件和激光束运动控制组件；所述动态聚焦组件用于动态调整所述加工激光束的焦点位置；所述激光束运动控制组件用于使所述加工激光束按设定轨迹运动，并使所述加工激光束以特定的加工角度对工件内壁进行加工。
2.如权利要求1所述的超快激光装置，其特征在于，所述动态聚焦组件包括动态聚焦轴和场镜；所述动态聚焦轴用于调整所述加工激光束的焦点位置；所述场镜用于获得聚焦激光束，以提高所述加工激光束的能量密度。
3.如权利要求2所述的超快激光装置，其特征在于，所述激光束运动控制组件包括扫描振镜和音圈转镜组件；所述扫描振镜设于所述动态聚焦轴之后，用于使所述加工激光束按设定轨迹运动；所述音圈转镜设于所述场镜之后，其用于获得所述加工激光束，并使所述加工激光束以特定的加工角度对工件内壁进行加工。
4.如权利要求3所述的超快激光装置，其特征在于，所述音圈转镜组件包括反射转镜和音圈电机，所述反射转镜用于反射所述聚焦激光束以形成所述加工激光束，并使所述加工激光束到达工件内壁的加工位置；所述音圈电机用于调整所述反射转镜的反射转镜角度，以改变所述加工激光束的加工角度。
5.如权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄禹，荣佑民，信国强，李文元，陈龙，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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