【技术实现步骤摘要】
本技术涉及计量检测,尤其涉及量算仪标准样板。
技术介绍
1、量算仪标准样板是用于检定或校准图形面积量算仪的标准器具,需要通过标准样板为量算仪的光学测量部分提供准确的参考标准,保证量算仪在不同环境和使用条件下的测量准确性和一致性;
2、现有技术中高深宽比微结构的待测参数为宽度和深度,在国际标准中均有两种参数描述的标准方法,国内外的计量机构和标准样片公司也已研制了较多种类的台阶、沟槽标准样板,但大多是宽度尺寸和深度(台阶高度)尺寸分离,集成在一起的深宽比大于10:1的复合型高深宽比微结构标准样板还很缺乏,无法作用于针对高深宽比微结构的无损测量系统,针对上述问题申请号为:202420441652.8的文献公开了一种高深宽比微孔槽标准器,其包括封装罩、标准样板和基底板,标准样板平置于基底板的中央并与其固定相连;标准样板上刻蚀用于表征和溯源的具有高深宽比特征的微孔槽结构和用于快速循迹的定位结构;封装罩采用可拆取结构,能够有效防止标准样板污染;可根据高深宽比三维结构无损测量系统的分辨能力及定位方式,通过参考图案和引导图案的设置,达到各类
...【技术保护点】
1.量算仪标准样板,其特征在于,包括基底板(1)、标准样板主体(2)、固定框(4)以及固定机构;
2.根据权利要求1所述的量算仪标准样板,其特征在于,所述转轴(5)上固定套设有圆板(6),所述圆板(6)与所述基底板(1)转动连接,所述圆板(6)上焊接有燕尾块(7),所述燕尾块(7)与所述固定框(4)卡接。
3.根据权利要求2所述的量算仪标准样板,其特征在于,所述基底板(1)上开设有四个滑动槽一,四个所述燕尾块(7)分别在四个所述滑动槽一内滑动,所述固定框(4)上开设有四个燕尾槽(12),四个所述燕尾槽(12)分别与四个所述燕尾块(7)相适配,四
...【技术特征摘要】
1.量算仪标准样板,其特征在于,包括基底板(1)、标准样板主体(2)、固定框(4)以及固定机构;
2.根据权利要求1所述的量算仪标准样板,其特征在于,所述转轴(5)上固定套设有圆板(6),所述圆板(6)与所述基底板(1)转动连接,所述圆板(6)上焊接有燕尾块(7),所述燕尾块(7)与所述固定框(4)卡接。
3.根据权利要求2所述的量算仪标准样板,其特征在于,所述基底板(1)上开设有四个滑动槽一,四个所述燕尾块(7)分别在四个所述滑动槽一内滑动,所述固定框(4)上开设有四个燕尾槽(12),四个所述燕尾槽(12)分别与四个所述燕尾块(7)相适配,四个所述滑动槽一分别与四个所述燕尾槽(12)相对应。
4.根据权利要求1所述的量算仪标准样板,其特征在于,所述基底板(1)上开设有空腔(11),四个所述转轴(5)的一端延伸至所述空腔(11)内,四个所述转轴(5)的一端固定连接有链轮(9),四个所述链轮(9)在所述空腔(11)内转动。
5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:张保康,孙青,滑开放,李哲,崔方明,
申请(专利权)人:方圆检测认证集团有限公司,
类型:新型
国别省市:
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