【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子级氯化氢尾气的回收装置。
技术介绍
1、随着电子工业的快速发展，电子级氯化氢(hcl)一种关键的化学气体，被广泛应用于各种生产流程中，如半导体制造、集成电路封装等。然而，电子级氯化氢的需求量日益增长，随之会产生大量含氯化氢的尾气。这些尾气如果未经处理直接排放到大气中，将会对环境和人类健康造成严重威胁。含有氯化氢气体在大气中与水蒸气结合会形成酸雨，影响生态平衡和农作物生长。此外，直接排放也会导致资源浪费。因此，对含氯化氢的尾气进行回收变得至关重要。
2、目前的吸收装置主要以喷淋塔为主，专利cn219984338u提出一种氯化氢尾气回收装置，包括混合箱、喷淋箱和填料盒，通过喷淋手段经填料层充分与尾气接触，回收尾气中的氯化氢，同时喷淋箱内设置导气板，可在喷淋箱内形成“s”型气道，有利于进一步吸收尾气中的氯化氢。但该装置呈倾斜向下状，导气板易造成气体堆积使塔局部压力升高，不利于气体放空，填料层清洗更换工作繁琐，且喷淋手段仍会使少量含氯化氢气体逃逸，处理效果有待提高。
技术实现思路p>
1、针对现本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电子级氯化氢尾气回收装置，其特征是：回收塔、吸收液回收池、循环泵依次连接成回路，回收塔中部设置有螺旋式挡板，回收塔底部设有气体分布器，回收塔一侧设置有进气管，进气管前端设置有气体过滤器，进气管后端深入回收塔底部并分出两只导气管连通气体分布器，回收塔顶部设置有放空管。
2.根据权利要求1所述的电子级氯化氢尾气回收装置，其特征在于，进气管底端分支出若干以进气管为对称点且均匀分布的导气管，并垂直连接至气体分布器内侧，导气管内部安装单向阀，接口处紧密连接。
3.根据权利要求1所述的电子级氯化氢尾气回收装置，其特征在于，回收塔底部与吸收液回收池通...
【技术特征摘要】
1.一种电子级氯化氢尾气回收装置，其特征是：回收塔、吸收液回收池、循环泵依次连接成回路，回收塔中部设置有螺旋式挡板，回收塔底部设有气体分布器，回收塔一侧设置有进气管，进气管前端设置有气体过滤器，进气管后端深入回收塔底部并分出两只导气管连通气体分布器，回收塔顶部设置有放空管。
2.根据权利要求1所述的电子级氯化氢尾气回收装置，其特征在于，进气管底端分支出若干以进气管为对称点且均匀分布的导气管，并垂直连接至气体分布器内侧，导气管内部安装单向阀，接口处紧密连接。
3.根据权利要求1所述的电子级氯化氢尾气回收装置，其特征在于，回收塔底部与吸收液回收池通过调节阀连通；循环泵出口管进入到回收塔上部接有回水喷头。
4.根据权利要求1所述的电子级氯化氢尾气回收装置，其特征在于，螺旋式挡板两侧分别与回收塔内壁及进气管外壁紧密连接。
5.根据权利要求1所述的电子级氯化氢尾气回收装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：白毅鸿，张金彪，袁胜芳，李笑艳，铁宁，
申请(专利权)人：昊华气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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