电源输出控制电路、电源输出电路及设备制造技术

本申请实施例提供的一种电源输出控制电路、电源输出电路及设备，所述电路包括整流模块，用于生成第一直流电信号；能量限制模块，所述能量限制模块的第一端与所述整流模块电连接，所述能量限制模块的输出端用于外接负载模块；所述能量限制模块，用于对所述整流模块产生的第一直流电信号进行滤波处理，获取第二直流电信号；控制模块，所述控制模块与所述能量限制模块电连接；所述控制模块，用于在检测到所述负载模块未发生短路时，控制所述能量限制模块向所述负载模块输出第二直流电信号；在检测到所述负载模块发生短路时，控制所述能量限制模块停止向所述负载模块输出电信号。用以抑制弧光出现时输出能量的释放，保证了工艺过程的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电子电路，具体地涉及一种电源输出控制电路、电源输出电路及设备。

技术介绍

1、电弧是一种气体放电现象，电流通过某些介质所产生的瞬间火花。电弧是一种自持气体导电，其大多数载流子为一次电子发射所产生的电子。触头金属表面因一次电子发射导致电子逸出，间隙中气体原子或分子会因电离而产生电子和离子。另外，电子或离子轰击发射表面又会引起二次电子发射，当间隙中离子浓度足够大时，间隙被电击穿而发生电弧。

2、当电弧发生时，尤其在镀膜过程中，当气体负载发生电弧产生弧光时，相当于电源输出被短路，高压直流电瞬间会激发出几百甚至上千安培的短路电流。过大的电流会导致靶材烧蚀，产生不期望的微小颗粒，沉积在工件表面，降低成膜质量，造成经济损失，因此控制直流源的电弧能量。

3、电弧能量的大小主要取决于电源输出侧的滤波器的储能。为了减少电源输出侧的滤波器的储能，在一些技术中，采用电源高频化或者利用多相组合达成高频化目的，从而降低滤波器的储能。

4、但是电源高频化的实现相对较难，并且开关器件、磁性器件等器件的损耗也会因频率过高而损耗增加。因此，如何本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电源输出控制电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述能量限制模块包括至少一个第一滤波支路，所述第一滤波支路包括：至少一个电容滤波子支路；所述电容滤波子支路包括电容滤波子模块及第一开关子模块，所述电容滤波子模块第一端与所述第一开关子模块的第一端串联，所述第一开关子模块的第二端作为所述电容滤波子支路的第一端与所述整流模块的第一端电连接，所述电容滤波子模块的第二端作为所述电容滤波子支路的第二端与所述整流模块的第二端电连接，且所述电容滤波子支路的第一端及第二端还用于外接所述负载模块；所述第一开关子模块的控制端与所述控制模块电连接。

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【技术特征摘要】

1.一种电源输出控制电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述能量限制模块包括至少一个第一滤波支路，所述第一滤波支路包括：至少一个电容滤波子支路；所述电容滤波子支路包括电容滤波子模块及第一开关子模块，所述电容滤波子模块第一端与所述第一开关子模块的第一端串联，所述第一开关子模块的第二端作为所述电容滤波子支路的第一端与所述整流模块的第一端电连接，所述电容滤波子模块的第二端作为所述电容滤波子支路的第二端与所述整流模块的第二端电连接，且所述电容滤波子支路的第一端及第二端还用于外接所述负载模块；所述第一开关子模块的控制端与所述控制模块电连接。

3.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，在所述第一滤波支路包括至少两个电容滤波子支路时，所述至少两个电容滤波子支路并联。

4.根据权利要求2或3所述的电路，其特征在于，所述电容滤波子支路还包括第一电阻，所述第一电阻的第一端与所述第一开关子模块的第二端串联，且所述第一电阻的第二端作为所述电容滤波子支路的第一端与所述整流模块的第一端电连接。

5.根据权利要求2-4任一项所述的电路，其特征在于，所述第一滤波支路还包括第一电感子模块及第二开关子模块；

6.根据权利要求2-5任一项所述的电路，其特征在于，所述能量限制模块包括至少两个第一滤波支路；所述至少两个第一滤波支路并联。

7.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴昌盛，李新颖，张宇培，
申请(专利权)人：华为数字能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：