光谱仪中的激光器阵列激发和多通道检测制造技术

技术编号:46597653 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-10 21:30
提供的光谱仪包括多个激发光源(例如,多个激光光源)、多个检测器元件和/或多个激发光源和多个检测器元件。在一个实施例中,例如,光谱仪包括适于提供激发入射光束的光源、适于检测光谱信号的检测器;以及光学系统,其适于将激发入射光束引向样品、从样品接收光谱信号并且将光谱信号提供给检测器。光源包括适于通过光学系统提供多个激发入射光束的多个激光源和/或检测器包括多个检测器元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及使用用于激发和/或多通道检测的激光器阵列的光谱仪。


技术介绍

1、光谱仪的典型光栅系统经由移动部件在样品的表面上移动激发光束。光栅系统在单次采集内使激发光束跨样品的区域移动,并且在表面上进行平均而不是产生离散光谱。


技术实现思路

1、提供的光谱仪包括多个激发光源(例如,多个激光光源)、多个检测器元件和/或多个激发光源和多个检测器元件。在一个实施例中,例如,光谱仪包括适于提供激发入射光束的光源、适于检测光谱信号的检测器;以及光学系统,其适于将激发入射光束引向样品、从样品接收光谱信号并且将光谱信号提供给检测器。光源包括适于通过光学系统提供多个激发入射光束的多个激光源和/或检测器包括多个检测器元件。

2、在另一个实施例中,光谱仪包括适于提供激发入射光束的光源和适于检测光谱信号的检测器。光学系统适于将激发入射光束引向样品、从样品接收光谱信号并且将光谱信号提供给检测器。光学系统包括适于扩展激发入射光束的扩束器。

3、通过阅读以下描述和权利要求并且通过查看附图,本专利技术的前述和其他方面本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光谱仪,包括:

2.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述多个激光源包括多个VCSEL激光源。

3.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光源的所述多个激光源包括二维激光源阵列。

4.根据权利要求3所述的光谱仪,其中所述二维激光源阵列包括VCSEL激光器阵列。

5.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光学系统适于将所述多个激发入射光束提供给所述样品,并且从所述样品接收对应于所述多个激发入射光束的多个光谱信号。

6.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光学系统适于跨所述样品的表面提供所述多个激发入射光束。</p>

7.根据...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光谱仪,包括:

2.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述多个激光源包括多个vcsel激光源。

3.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光源的所述多个激光源包括二维激光源阵列。

4.根据权利要求3所述的光谱仪,其中所述二维激光源阵列包括vcsel激光器阵列。

5.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光学系统适于将所述多个激发入射光束提供给所述样品,并且从所述样品接收对应于所述多个激发入射光束的多个光谱信号。

6.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光学系统适于跨所述样品的表面提供所述多个激发入射光束。

7.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述多个激光源中的至少一部分为可寻址的。

8.根据权利要求7所述的光谱仪,其中所述激光源中的每个为可单独寻址的。

9.根据权利要求7所述的光谱仪,其中所述多个激光源的至少两个部分为可单独寻址的。

10.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述检测器包括多个检测器元件。

11.根据权利要求10所述的光谱仪,其中所述多个检测器元件包括二维检测器元件阵列。

12.根据权利要求10所述的光谱仪,其中所述多个检测器元件中的至少一部分为可寻址的。

13.根据权利要求12所述的光谱仪,其中所述检测器元件中的每个为可单独寻址的。

14.根据权利要求12所述的光谱仪,其中所述多个检测器元件中的至少两个部分为可单独寻址的。

15.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光谱仪包括适于处理来自所述检测器的一个或多个检测器信号的控制器。

16.根据权利要求15所述的光谱仪,其中所述控制器适于校正所述检测器处的所述光谱信号的曲率。

17.根据权利要求16所述的光谱仪,其中所述控制器适于通过将圆拟合到已知直线来校正所述曲率。

18.根据权利要求15所述的光谱仪,其中所述控制器适于使在所述检测器处接收的所述检测到的光谱信号线性化。

19.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光学系统包括适于使所述检测器处的所述光谱信号的强度分布平坦化的透镜。

20.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述检测器包括适于检测对应于所述多个激发入射光束的多个光谱信号的多个检测器元件。

21.根据权利要求20所述的光谱仪,其中所述光谱仪包括适于分离样品的目标材料和第二材料的光谱的控制器。

22.根据权利要求21所述的光谱仪,其中所述样品包括非均匀样品。

23.根据权利要求21所述的光谱仪,其中所述第二材料包括所述样品的表面。

24.根据权利要求1所述的光谱仪,其中所述光学系统包括适于在所述样品的表面处扩展所述多个激发入射光束的扩束器。

25.一种光谱仪,包括:

26.根据权利要求26所述的光谱仪,其中所述光源包括vcsel激光源。

27.根据权利要求26所述的光谱仪,其中所述光源包括适于提供多个激发入射光束的多个激光源。

【专利技术属性】
技术研发人员:基思·T·卡龙加里克·杜尔曼本·摩根科尔宾·豪根
申请(专利权)人:万通光谱公司dba万通拉曼
类型:发明
国别省市:

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