【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及异形件制备，尤其涉及一种手指异形件的坯体及手指异形件的制作方法。
技术介绍
1、手指异形件是一种用于拾取、搬运、定位、支撑或放置半导体材料的末端执行器部件，它通常由无压烧结碳化硅材料制成，即以高纯度超细碳化硅粉末为原料，通过在惰性气体或真空环境下进行常压高温烧结而成，烧结过程会添加少量烧结助剂。手指异形件制成后，外轮廓呈l型，包括第一延伸段和第二延伸段，第二延伸段负责承托半导体材料，第二延伸段则能够连接机械臂。其中，第一延伸段上包括承载部，承载部的厚度相较于第一延伸段的厚度更薄，第一延伸段上相较于手指异形件的内侧面上设置有第一板面，用于接触半导体材料，第二延伸段上与第一板面垂直的面为第二板面，用于与其他设备贴合，属于装配基准面。
2、现有技术的制作方法为，通常直接对l型素坯进行加工得到手指异形件，参照图1，l型素坯包括第一坯段01和第二坯段02，l型素坯在烧结后，使用刀具对第一坯段01的端部进行打磨使其厚度降低，以得到承载部。但是，这种制作方式存在以下情况：①直接对l型素坯进行烧结时，由于素坯的形状为不规则状，...
【技术保护点】
1.一种手指异形件的坯体，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的手指异形件的坯体，其特征在于，所述连接件(3)包括相互连接且呈角度设置的第一连接部(31)和第二连接部(32)，所述第一连接部(31)远离所述第二连接部(32)的一端与所述第一待加工部(21)连接，所述第二连接部(32)远离所述第一连接部(31)的一端与所述第二待加工部(22)连接。
3.根据权利要求2所述的手指异形件的坯体，其特征在于，所述坯体还包括加强筋(4)，所述加强筋(4)的一端与所述第一待加工部(21)连接，另一端与和所述连接件(3)连接。
4.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种手指异形件的坯体，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的手指异形件的坯体，其特征在于，所述连接件(3)包括相互连接且呈角度设置的第一连接部(31)和第二连接部(32)，所述第一连接部(31)远离所述第二连接部(32)的一端与所述第一待加工部(21)连接，所述第二连接部(32)远离所述第一连接部(31)的一端与所述第二待加工部(22)连接。
3.根据权利要求2所述的手指异形件的坯体，其特征在于，所述坯体还包括加强筋(4)，所述加强筋(4)的一端与所述第一待加工部(21)连接，另一端与和所述连接件(3)连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的手指异形件的坯体，其特征在于，所述待成型件...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，王科，王巨宝，周敏，
申请(专利权)人：上海戎创铠迅特种材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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