一种感光树脂、光固化组合物及光固化组合物的应用制造技术

技术编号:46585910 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-10 21:22
本发明专利技术属于材料技术领域,具体涉及一种感光树脂、光固化组合物及光固化组合物的应用。该感光树脂至少由含有环氧基的烯烃类不饱和化合物、不饱和羧酸以及光固化单体聚合而成。基于本发明专利技术提供的感光树脂,光固化组合物具有优异的粘附力以及抗溶胀性能,减少了显影过程中胶层脱落、图案形变等,最终获得完整、高精度、清晰的图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于材料,具体涉及一种感光树脂、光固化组合物及光固化组合物的应用


技术介绍

1、光刻技术是指利用光刻材料(特指光刻胶)在可见光、紫外线、电子束等作用下的化学敏感性,通过曝光、显影、刻蚀等工艺过程,将设计在掩膜版上的图形转移到衬底上的图形微细加工技术。光刻技术是现代半导体、微电子、信息产业的基础,在平板显示、发光二极管、先进封装、磁头及精密传感器等泛半导体行业也有着广泛的应用。光刻胶是光刻技术中形成图案的核心关键。光刻胶,又称光致抗蚀剂,这类材料具有光(包括可见光、紫外线、电子束等)化学敏感性,受光或其它辐射后发生化学反应,形成溶解度差异的感光材料。

2、光刻胶主要由溶剂、成膜树脂、光引发剂、添加剂等几部分组成。树脂是光刻胶组分中占比最大的成分之一,其性能对光刻胶的整体表现起着决定性作用。现有光刻胶树脂在显影过程中容易发生溶胀现象,导致图案的边缘变得不清晰,线宽控制出现偏差,甚至出现图案变形或脱落的现象。光刻胶的性能直接决定了显示面板的分辨率、色彩还原度及图像精度,随着新型显示技术对屏幕分辨率的要求越来越高,现有的光刻胶树脂由于显影溶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种感光树脂,其特征在于:至少由含有环氧基的烯烃类不饱和化合物、不饱和羧酸以及光固化单体聚合而成,其中,所述光固化单体具有式一所示结构:

2.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于,所述闭链烃中:

3.根据权利要求2所述的感光树脂,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于:所述闭链烃具有2-5个多元环。

5.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于:所述闭链烃还含有至少一个可以与环氧基、羧基或马来酰亚胺基团反应的反应性取代基团。

6.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于:所述含有环氧基的烯烃类不饱和化...

【技术特征摘要】

1.一种感光树脂,其特征在于:至少由含有环氧基的烯烃类不饱和化合物、不饱和羧酸以及光固化单体聚合而成,其中,所述光固化单体具有式一所示结构:

2.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于,所述闭链烃中:

3.根据权利要求2所述的感光树脂,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于:所述闭链烃具有2-5个多元环。

5.根据权利要求1所述的感光树脂,其特征在于:所述闭链烃还含有至少一个可以与环氧基、羧基或马来酰亚胺基团反应的反应性取代基团。

6.根据权利要求1所述的感光树脂,...

【专利技术属性】
技术研发人员:穆广园龚文亮金江江张炎
申请(专利权)人:武汉尚赛光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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