一种基于光学图像的翘曲检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学检测技术领域，具体涉及一种基于光学图像的翘曲检测装置，包括：框架体，工作台面设置在框架体内；控制单元，与各单元电连接用于调整各单元的工作状态；工件放置单元，设于所述工作台面上内置用于调节光栅的第一升降组件，以及用于调整工件位置的第二升降组件；光学测量单元，用于对工件放置单元内的工件进行测量；控制面板单元，用于调整所述翘曲检测装置的工况参数；显示单元，用于显示所述工件的检测数据，用于显示所述翘曲检测装置的工况信息。本发明专利技术利用了阴影摩尔技术作为图像观测的基本依据，结合自动相位步进提供足够精确的数据；可对芯片进行快速而高效的检测，既具有非接触式测量的优点，又具有更好的检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学检测，具体涉及一种基于光学图像的翘曲检测装置。

技术介绍

1、现有的翘曲度检测及测量方法主要包括：

2、接触式测量方法，例如塞规式、探针式等；其不足之处在于：接触式测量通常需要观察者人眼确定测量结果，测量结果与观察者的相关性极大，而且难以保证测量结果的精确；接触式测量还可能划伤(被测)工件；

3、非接触式测量方法，例如利用具备自动光学对焦扫描测量功能的测量仪等；其不足之处在于：非接触式的测量仪，虽然能达到较高的精度，也不会划伤(被测)工件，但是由于其效率不够高，很难满足工厂生产的需要。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的缺点，本专利技术提出了一种基于光学图像的翘曲检测装置，所述装置结构合理，易于使用及维护，利用阴影摩尔技术产生莫尔条纹，利用自动相位步进技术改变相位为光学计算提供数据，二者结合可对芯片的平面外位移(翘曲)进行快速而高效的检测，既具有非接触式测量的优点，又具有更好的检测效率。

2、根据本专利技术第一方面，本专利技术请求保护一种基于光学图本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，包括光学测量模块，所述光学测量模块具体包括：光源(9)、相机(11)，二者均朝向位于下方的载物台(37)中的工件(55)；光源(9)和相机(11)之间间隔一固定距离b设置；

2.一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，包括：

3.如权利要求2所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，所述光学测量单元(1)包括：

4.如权利要求3所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，反射镜(8)两侧设有上下调节机构，用于确保反射光完全覆盖光栅。

5.如权利要求3所述的一种基于光学图像的翘...

【技术特征摘要】

1.一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，包括光学测量模块，所述光学测量模块具体包括：光源(9)、相机(11)，二者均朝向位于下方的载物台(37)中的工件(55)；光源(9)和相机(11)之间间隔一固定距离b设置；

2.一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，包括：

3.如权利要求2所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，所述光学测量单元(1)包括：

4.如权利要求3所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，反射镜(8)两侧设有上下调节机构，用于确保反射光完全覆盖光栅。

5.如权利要求3所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，相机组件(11)采集到的图像传输至控制单元(4)中的工控机，经分析处理后得到工件的翘曲检测结果。

6.如权利要求2所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，所述工件放置单元(2)包括：依次设置的顶盖组件、箱体组件和底座组件；

7.如权利要求6所述的一种基于光学图像的翘曲检测装置，其特征在于，所述箱体组件具体包括：箱外壳(22)、箱内壳(24)和箱封板(25)，箱内壳(24)设于箱外壳(22)内，箱内壳(24)的底部与箱封板(25)连接；在箱体组件内设有三个第一升降组件(20)；光栅(7)放置在第一升降组件(20)的顶部；所述第一升降组件(20)设有手动调节旋钮(23)，所述手动调节旋钮(23)通过连接件设置在箱体组件外部。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：闻燕明，杨翼，
申请(专利权)人：领先光学技术江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：