一种基片上元件阻值的检测系统及检测方法技术方案

本发明专利技术涉及电阻测试技术领域，具体公开了一种基片上元件阻值的检测系统，包括阻值检测模块、标记装置、下料执行机构和智能控制模块，智能控制模块被配置为：(a)计算整板基片的合格率；(b)值偏小占有率+合格元件占有率≥返工阈值则送入可返工储存区，其余送入不可返工储存区。基片上元件阻值的检测方法，包括如下步骤：S1、探针获取元件阻值；S2、用不同颜色标记阻值异常元件；S3、对基片进行合格率和偏小值占有率计算；S4、控制下料执行机构将基片合格率≥基片合格阈值的基片送至合格区。本方案用以解决现有技术中基片高密度元件阻值检测效率低、人工分拣错误率高，而自动化的检测系统又无法根据阻值偏差方向智能决策返工或报废的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电阻测试，具体涉及一种基片上元件阻值的检测系统及检测方法。

技术介绍

1、随着电子信息制造业的飞速发展，电阻作为电子元器件的重要组成部分，其阻值作为电变量的准确快速检测显得尤为重要，在常规的电阻阻值检测中采用万用表进行阻值检测是最为常见的方式。

2、而在半导体微纳加工技术的推动下，通过真空磁控溅射在各类绝缘基片（如氧化铝陶瓷、玻璃、石英或高分子聚合物）上沉积功能性薄膜（铂、镍铬合金或钽氮化物等），结合光刻与选择性刻蚀技术形成精密电路图案，最终在单块基片上实现高密度阵列化排布的薄膜电阻单元（电阻单元也称电阻元件）。

3、若此类高密度阵列的电阻元件逐一采用万用表进行阻值的测试，则势必存在检测精度低、速度慢和人工操作繁琐的问题，且因基片上的元件尺寸很小，人工操作容易因定位误差而划伤元件；此外，人工操作还容易对检测结果出现错误记录，造成后工序对元件进行激光调阻的不准确。无论是采用万用表抽检方式还是全检，为提高产品出厂后的合格率和产品精度，在阻值检测完成后，均需要对实测阻值小于元件基准值的元件进行调阻，而调阻与阻值检测通常情况下本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：还包括激光调阻模块；

3.根据权利要求2所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：所述智能控制模块还包括调阻评估子模块，调阻评估子模块被配置为在激光调阻模块启动前执行以下操作：

4.根据权利要求3所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：所述阻值检测模块包括定位机构及搭载于其执行末端的探针，探针和标记装置均集成于定位机构执行末端上。

5.根据权利要求4所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：所述探针与定...

【技术特征摘要】

1.一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：还包括激光调阻模块；

3.根据权利要求2所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：所述智能控制模块还包括调阻评估子模块，调阻评估子模块被配置为在激光调阻模块启动前执行以下操作：

4.根据权利要求3所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：所述阻值检测模块包括定位机构及搭载于其执行末端的探针，探针和标记装置均集成于定位机构执行末端上。

5.根据权利要求4所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：所述探针与定位机构执行末端之间设有弹性缓冲件。

6.根据权利要求1所述的一种基片上元件阻值的检测系统，其特征在于：还包括视觉识别模块，所述视觉识别模块包含相机和图像处理单元，相机用于采集基片的图像数据，图像处理单元基于采集的图像数据识别元件电极中点位置坐标；智能控制模块根据获取的坐标数据，...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：重庆斯太宝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：