一种多层压电陶瓷驱动器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种多层压电陶瓷驱动器及其制备方法，属于压电陶瓷驱动器技术领域。驱动器包括压电陶瓷、内电极、外电极和绝缘层A，其中，压电陶瓷和内电极交替堆叠，组成陶瓷生坯，陶瓷生坯相对的两侧利用绝缘层A对内电极进行交替覆盖，使每一层的内电极只有一侧外漏，绝缘层A所在的陶瓷生坯侧壁上设置有外电极，外电极接触有内电极外漏的一侧。本发明专利技术的内电极全部置于压电陶瓷之间，即内电极为全电极，提高电极利用率（100%），而且内电极全部覆盖压电陶瓷，无层间厚度差异，减小裂纹产生风险，提高共烧过程良率，同时，内电极没有非活性区，没有应力集中或裂纹扩展，提高动态工作寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多层压电陶瓷驱动器及其制备方法，属于压电陶瓷驱动器。

技术介绍

1、压电陶瓷作为一种能够实现机械能和电能相互转换的功能材料，在众多领域发挥着重要作用。多层叠堆压电陶瓷由多个压电陶瓷薄片通过电极交替连接而成，当施加电场时，压电陶瓷薄片会发生形变，由于多层结构的叠加，整体的位移量得到显著提高，随着工业智能化的推进，对高精度、高效率、高可靠性的驱动器需求日益增长，多层压电陶瓷驱动器应运而生。

2、目前，市场上的多层压电陶瓷驱动器多采用局部内电极叠层结构，如中国专利文件cn118157512a公开的分区结构的多层压电陶瓷驱动器，虽然已具备一定的位移输出和响应速度，但仍存在以下缺点：

3、1、电极利用率低：传统叠层结构采用局部内电极设计，仅部分区域参与电场作用，导致有效应变面积不足（通常<60%），位移输出受限（单层应变<0.1%）；

4、2、过程缺陷：共烧过程易产生层间微裂纹（缺陷率>3%）；

5、3、寿命降低：内电极边缘存在非活性区域，工作时产生层间应力集中（层间剪切应力峰值达8本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，包括压电陶瓷、内电极、外电极和绝缘层A，其中，压电陶瓷和内电极交替堆叠，组成陶瓷生坯，陶瓷生坯相对的两侧利用绝缘层A对内电极进行交替覆盖，使每一层的内电极只有一侧外漏，绝缘层A所在的陶瓷生坯侧壁上设置有外电极，外电极接触有内电极外漏的一侧。

2.如权利要求1所述的多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，压电陶瓷和内电极截面形状相同。

3.如权利要求2所述的多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，压电陶瓷和内电极均为长方体，陶瓷生坯另外两侧分别设置有绝缘层B。

4.如权利要求3所述的多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，绝缘层A和绝缘层...

【技术特征摘要】

1.一种多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，包括压电陶瓷、内电极、外电极和绝缘层a，其中，压电陶瓷和内电极交替堆叠，组成陶瓷生坯，陶瓷生坯相对的两侧利用绝缘层a对内电极进行交替覆盖，使每一层的内电极只有一侧外漏，绝缘层a所在的陶瓷生坯侧壁上设置有外电极，外电极接触有内电极外漏的一侧。

2.如权利要求1所述的多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，压电陶瓷和内电极截面形状相同。

3.如权利要求2所述的多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，压电陶瓷和内电极均为长方体，陶瓷生坯另外两侧分别设置有绝缘层b。

4.如权利要求3所述的多层压电陶瓷驱动器，其特征在于，绝缘层a和绝缘层b选用pzt基材料，厚度为...

【专利技术属性】
技术研发人员：何杰，郇正利，杨月霞，刘兆新，
申请(专利权)人：山东智达微技术有限公司，
类型：发明
国别省市：