一种柔性基材卷绕镀膜装置制造方法及图纸

技术编号：46568682 阅读：1 留言：0更新日期：2025-10-10 21:16

本技术公开了一种柔性基材卷绕镀膜装置，包括：第一腔体，第一腔体内设置有放卷单元，用于释放未镀膜的基材；第二腔体，第二腔体内设置有收卷单元，用于收卷镀膜后的基材；主腔体，主腔体内设置有镀膜单元，镀膜单元位于放卷单元和收卷单元之间的基材输送路径上；第一腔体和第二腔体均与主腔体连通，且在连通处设置有供基材通过的间隙；主腔体、第一腔体和第二腔体均连接有抽真空装置，第一腔体连接的抽真空装置的数量大于第二腔体连接的抽真空装置的数量，且小于主腔体连接的抽真空装置的数量。本申请根据不同腔体对于镀膜时真空度需求不同，选择不同数量的抽真空装置连接不同的腔体，以快速实现不同腔体的抽真空需求，提高抽真空的效率。

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空卷绕镀膜，特别涉及一种柔性基材卷绕镀膜装置。

技术介绍

1、柔性卷绕镀膜装置的工作原理主要基于真空蒸发或者真空磁控溅射。在真空环境下，通过加热蒸发源或利用磁控溅射原理，将金属、合金、化合物、陶瓷等材料沉积到柔性基材上，形成所需的薄膜。

2、当前的柔性卷绕镀膜装置包括收卷装置、放卷装置和磁控镀膜装置，其中，收卷装置、放卷装置和磁控镀膜装置均位于同一个真空腔体内，采用共同的抽真空装置进行抽真空。但是，放卷装置、收卷装置以及磁控溅射镀膜装置对真空度的要求并不相同，采用同一抽真空装置让三者处于统一真空度下，必然导致抽真空的时间增加，效率低下。

3、因而现有技术还有待改进和提高。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足之处，本技术的目的在于提供一种柔性基材卷绕镀膜装置，旨在解决现有技术中卷绕镀膜装置抽真空效率不佳的问题。

2、为了达到上述目的，本技术采取了以下技术方案：

3、一种柔性基材卷绕镀膜装置，包括：

4、第一腔体，所...

【技术保护点】

1.一种柔性基材卷绕镀膜装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的柔性基材卷绕镀膜装置，其特征在于，所述第二腔体通过真空破坏阀与惰性气体供给装置连接。

3.根据权利要求1所述的柔性基材卷绕镀膜装置，其特征在于，所述第二腔体连接有两个并联设置的前级泵组。

4.根据权利要求3所述的柔性基材卷绕镀膜装置，其特征在于，每个所述前级泵组包括与所述第二腔体依次串联的罗茨泵和机械泵。

5.根据权利要求3所述的柔性基材卷绕镀膜装置，其特征在于，所述抽真空装置包括若干个与所述主腔体、所述第一腔体和所述第二腔体连接的分子泵。